Керамический патрон из нитрида алюминия

Керамический патрон из нитрида алюминия представляет собой передовое решение для обработки полупроводниковых пластин, специально разработанное для надежного удержания пластин на месте на различных этапах производства. Это инновационное устройство, действующее как электростатический патрон (ESC), использует исключительные свойства керамики из нитрида алюминия, обеспечивая точную и надежную фиксацию пластины.

Керамический патрон Semicorex из нитрида алюминия использует электростатические силы для прочного сцепления пластины с ее поверхностью. Это достигается за счет тщательно спроектированной пластины со встроенными электродами, на которые стратегически подается высокое напряжение. В результате между валиком и пластиной возникает электростатическая удерживающая сила, эффективно фиксирующая пластину на месте на всех этапах обработки.

Одной из выдающихся особенностей керамического патрона из нитрида алюминия является его замечательное сочетание высокой теплопроводности и изоляционных свойств. Это уникальное сочетание характеристик делает его идеальным материалом для применения в системах ESC. Высокая теплопроводность обеспечивает эффективное рассеивание тепла, что имеет решающее значение для поддержания равномерного распределения температуры по пластине во время обработки. В то же время его исключительные изоляционные свойства обеспечивают электрическую изоляцию между патроном и пластиной, сводя к минимуму риск электрических помех или повреждения чувствительных полупроводниковых компонентов.

Керамический патрон из нитрида алюминия имеет ряд преимуществ по сравнению с патронами из традиционных материалов. Его прочная конструкция обеспечивает длительный срок службы и способна выдерживать строгие требования условий производства полупроводников. Кроме того, его совместимость с высокотемпературными процессами и устойчивость к тепловому расширению делают его незаменимым инструментом для достижения стабильных и высококачественных результатов обработки пластин.