Обогреватели Aln

Semicorex Aln Heaters для полупроводника - это устройство, используемое для нагревания полупроводниковых материалов. Это в основном изалюминиевый нитрид керамикаМатериал, имеет отличную теплопроводность и высокую температуру и может работать стабильно при высоких температурах. Нагреватель обычно использует проволоку сопротивления в качестве нагревательного элемента. Получив энергию провода сопротивления для нагрева, тепло перемещается на поверхность нагревателя для достижения нагрева полупроводникового материала. Нагреватели Aln для полупроводника играют важную роль в процессе полупроводникового производства и могут использоваться в таких процессах, как рост кристаллов, отжиг и выпекание.

В переднем процессе (FEOL) полупроводникового производства необходимо выполнять различные обработки процессов, особенно нагревание пластины до определенной температуры, и существуют строгие требования, потому что однородность температуры оказывает очень важное влияние на выход продукта; В то же время, полупроводниковое оборудование также должно работать в среде, где существуют вакуум, плазма и химические газы, что требует использования керамических обогревателей (керамический нагреватель). Керамические обогреватели являются важными компонентами оборудования для осаждения с тонкой пленкой. Они используются в камере процесса и непосредственно связываются с пластиной, чтобы переносить и позволяют пластине получить стабильную и равномерную температуру процесса, а также реагировать и генерировать тонкие пленки на поверхности пластины с высокой точностью.

Оборудование для осаждения с тонким пленкой для керамических обогревателей обычно использует керамические материалы на основеалюминиевый нитрид (Aln)из -за высоких температур. Нитрид алюминия имеет электрическую изоляцию и превосходную теплопроводность; Кроме того, его коэффициент термического расширения близок к коэффициенту кремния, и он обладает отличной плазменной сопротивлением, что делает его очень подходящим для использования в качестве компонента полупроводникового устройства.

Нагреватели Aln включают керамическую основу, которая несет пластинку, и цилиндрическое опорное тело, которое поддерживает ее на спине. Внутри или на поверхности керамического основания, в дополнение к элементу сопротивления (нагревательного слоя) для нагрева, есть также РЧ -электрод (радиочастотный слой). Чтобы достичь быстрого нагрева и охлаждения, толщина керамического основания должна быть тонкой, но слишком тонкая также уменьшит жесткость. Опорно -корпус нагревателей Aln, как правило, изготовлен из материала с коэффициентом теплового расширения, сходным с коэффициентом основания, поэтому опорное тело также часто изготавливается из нитрида алюминия. Обогреватели Aln принимают уникальную структуру сустава вала (вала) для защиты терминалов и проводов от воздействия плазменных и коррозийных химических газов. Входной и выпускной труб с теплообменом предоставляется в опорном корпусе, чтобы обеспечить равномерную температуру нагревателя. Основание и опорное тело химически связаны с связующим слоем.

Нагревательный элемент сопротивления похоронен в основании обогревателя. Он образуется при печати с проводящей пастой (вольфрамовый, молибден или тантал), чтобы сформировать спиральную или концентрическую схему круговой цепи. Конечно, металлическая проволока, металлическая сетка, металлическая фольга и т. Д. Также можно использовать. При использовании метода печати экрана готовится две керамические пластины одной и той же формы, а проводящая паста применяется на поверхность одного из них. Затем он спечен, образуя резистивный нагреватель, а другая керамическая пластина перекрывается с резистивным нагревательным элементом, чтобы сделать элемент резистора, похороненным в основании.

Основными факторами, влияющими на теплопроводность алюминиевой нитридной керамики, являются плотность решетки, содержание кислорода, чистота порошка, микроструктура и т. Д., Которые будут влиять на теплопроводность алюминиевой нитридной керамики.