8-дюймовые кольца-адвокаты

8-дюймовые 8-дюймовые кольца для полупроводников представляют собой передовое оборудование для полупроводниковой обработки, предназначенное для безопасного обеспечения и поддержки кремниевых пластин с помощью важных процессов теплового, травления и осаждения. Построен из высококачественного графита с плотнымПокрытие карбида кремния (sic)Для добавленной прочности кольцо держателя пластин дает превосходную тепловую стабильность, химическую стойкость и механическую прочность, делает его идеальным для использования в высокотемпературных и коррозионных средах, таких как ССЗ (химическое отложение пара), PECVD и системы эпитаксии.

Ключевые функции:

Материал композиция:

Материал субстратаГрафит высокой чистоты, который выбран для высокой теплопроводности и структурной однородности. Высокая плотность и равномернаяКремниевое карбид (SIC) пленкананосится на поверхность, демонстрируя высокую устойчивость к окислению и химическим приступам даже при повышенных температурах, превышающих 1000 ° C. Смесь содержит срок годности длительного времени и минимальный риск загрязнения пластин.

Обеспечить позиционирование пластины

Созданное особенно для сохранения 8-дюймовых (200 мм) пластин, кольцо с вафелью удерживает точные допуски и оптимально разработанную внутреннюю геометрию, чтобы надежно схватить пластину. Кольцо остается стабильным в положении во время термического цикла и потока газа, сводя к минимуму микро-движения, что может привести к созданию частиц или разрушению пластины.

Термическая однородность:

Принужденная теплопроводность графитового субстрата и стабильность покрытия SIC обеспечивают постоянную теплопередачу над поверхностью пластины. Это приводит к последовательным результатам процесса, снижению теплового напряжения и лучшему выходу устройств.

Химическая и плазменная стойкость:

Поверхность SIC защищает графитовое ядро от суровых процессовых плазмы и газов, предлагая сопротивление повторным циклам процесса. Химическая инертность особенно полезна в среде коррозийного галогеносодержащего травления или реактивного газа.

Настройка доступна:

8-дюймовые кольца-адвокаты могут быть разработаны на заказ для удовлетворения конкретных требований оборудования или процесса, то есть изменений в конструкции поддержки краев, расположения слотов и монтажной конфигурации. Наши дизайнеры работают с OEM -производителями и FABS, чтобы обеспечить максимально возможную производительность для каждого использования.

Приложения:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Эпитаксиальные процессы роста
• Диффузионные печи
• Высокотемпературное отжиг
• Другие системы полупроводниковой тепловой обработки

Каждые 8-дюймовые кольца держателя пластин подвергаются строгой проверке, например, проверке точности измерений, тестированием на адгезию покрытия и квалификацией термического цикла. Наша передовая технология производства обеспечивает единую толщину покрытия SIC и лучшую поверхностную отделку для удовлетворения высоких требований полупроводниковой промышленности.

8-дюймовые 8-дюймовые кольца для получения пластин (графит с покрытием SIC) являются важным оборудованием для производства полупроводника следующего поколения, обеспечивая механическую точность, долговечность материала и химическую стабильность. Этот продукт, от модернизации технологического оборудования до строительства платформ для следующего поколения, предлагает надежность и производительность, необходимые для обеспечения современных требовательных производственных сред.