Покрытие SiC представляет собой тонкий слой на токоприемнике в процессе химического осаждения из паровой фазы (CVD). Карбид кремния обеспечивает ряд преимуществ по сравнению с кремнием, в том числе 10-кратное увеличение напряженности электрического поля пробоя, 3-кратное увеличение ширины запрещенной зоны, что обеспечивает материалу высокую термостойкость и химическую стойкость, отличную износостойкость, а также теплопроводность.
Semicorex предоставляет индивидуальное обслуживание, помогает внедрять инновации с помощью компонентов, которые служат дольше, сокращают время цикла и повышают производительность.
Покрытие SiC обладает рядом уникальных преимуществ.
Устойчивость к высоким температурам: токоприемник с покрытием CVD SiC может выдерживать высокие температуры до 1600°C без значительного термического разложения.
Химическая стойкость: покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную стойкость к широкому спектру химических веществ, включая кислоты, щелочи и органические растворители.
Износостойкость: покрытие SiC придает материалу превосходную износостойкость, что делает его пригодным для применения в условиях повышенного износа.
Теплопроводность: покрытие CVD SiC придает материалу высокую теплопроводность, что делает его пригодным для использования в высокотемпературных приложениях, требующих эффективной теплопередачи.
Высокая прочность и жесткость: токоприемник с покрытием из карбида кремния придает материалу высокую прочность и жесткость, что делает его пригодным для применений, требующих высокой механической прочности.
Покрытие SiC используется в различных областях.
Производство светодиодов: токоприемник с покрытием CVD SiC используется в производстве различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, ультрафиолетовые светодиоды и светодиоды глубокого ультрафиолетового излучения, благодаря его высокой теплопроводности и химической стойкости.
Мобильная связь: токоприемник, покрытый CVD SiC, является важной частью HEMT для завершения процесса эпитаксии GaN-на-SiC.
Обработка полупроводников: токоприемник с покрытием CVD SiC используется в полупроводниковой промышленности для различных применений, включая обработку пластин и эпитаксиальный рост.
Графитовые компоненты с покрытием SiC
Изготовленное из графита с покрытием из карбида кремния (SiC), покрытие наносится методом CVD на определенные сорта графита высокой плотности, поэтому оно может работать в высокотемпературной печи при температуре более 3000 ° C в инертной атмосфере, 2200 ° C в вакууме. .
Особые свойства и малая масса материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и непревзойденную точность управления.
Данные о материалах покрытия Semicorex SiC
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
Состав |
|
Фаза FCC β |
Ориентация |
Доля (%) |
111 предпочтительных |
Объемная плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Тепловое расширение 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Заключение Токоприемник, покрытый CVD SiC, представляет собой композитный материал, сочетающий в себе свойства токоприемника и карбида кремния. Этот материал обладает уникальными свойствами, в том числе высокой термостойкостью и химической стойкостью, отличной износостойкостью, высокой теплопроводностью, высокой прочностью и жесткостью. Эти свойства делают его привлекательным материалом для различных высокотемпературных применений, включая обработку полупроводников, химическую обработку, термообработку, производство солнечных элементов и производство светодиодов.
Обладая высокой температурой плавления, стойкостью к окислению и коррозионной стойкости, приемник для выращивания кристаллов LPE с покрытием из карбида кремния Semicorex является идеальным выбором для использования в задачах выращивания монокристаллов. Его покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную плоскостность и свойства распределения тепла, что делает его идеальным выбором для высокотемпературных сред.
Читать далееОтправить запросЕсли вам нужен графитовый токоприемник, способный надежно и стабильно работать даже в самых требовательных высокотемпературных и агрессивных средах, бочкообразный токоприемник Semicorex для жидкофазной эпитаксии — идеальный выбор. Покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную теплопроводность и распределение тепла, обеспечивая исключительную производительность при производстве полупроводников.
Читать далееОтправить запросГрафитовый корпус Semicorex с карбид-кремниевым покрытием — идеальный выбор для производства полупроводников, требующих высокой термостойкости и коррозионной стойкости. Его исключительная теплопроводность и свойства распределения тепла делают его идеальным для использования в процессах LPE и других высокотемпературных средах.
Читать далееОтправить запросОбладая превосходной плотностью и теплопроводностью, цилиндрический токоприемник Semicorex Durable SiC-Coated для LPE является идеальным выбором для использования в процессах LPE и других областях производства полупроводников. Его покрытие SiC высокой чистоты обеспечивает превосходные свойства защиты и распределения тепла, что делает его идеальным выбором для получения надежных и стабильных результатов.
Читать далееОтправить запросКогда дело доходит до производства полупроводников, высокотемпературный цилиндрический токоприемник Semicorex с покрытием из карбида кремния является лучшим выбором для превосходной производительности и надежности. Его высококачественное покрытие SiC и исключительная теплопроводность делают его идеальным для использования даже в самых требовательных высокотемпературных и агрессивных средах.
Читать далееОтправить запросОбладая высокой температурой плавления, стойкостью к окислению и коррозионной стойкости, цилиндрический токоприемник Semicorex с карбидно-кремниевым покрытием для роста LPE является идеальным выбором для использования в задачах выращивания монокристаллов. Его покрытие из карбида кремния обеспечивает исключительную плоскостность и свойства распределения тепла, обеспечивая надежную и стабильную работу даже в самых требовательных высокотемпературных средах.
Читать далееОтправить запрос