Компания Semicorex предлагает высококачественные графитовые токоприемники с покрытием CVD SiC. Мы уже много лет являемся производителем и поставщиком графитовых материалов. Наши блинные токоприемники с графитовым покрытием CVD SiC имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают большую часть рынков Европы и Америки. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Графитовый блинный токоприемник Semicorex CVD SiC (карбид кремния методом химического осаждения из паровой фазы) представляет собой усовершенствованную версию графитового блинчатого токоприемника, обсуждавшегося ранее. Он включает тонкий слой покрытия SiC, нанесенный методом CVD на поверхность графитового токоприемника.
Графитовый блинный токоприемник с CVD-SiC-покрытием широко используется при обработке полупроводников, например, при эпитаксиальной обработке пластин, ICP-травлении, процессе RTP и т. д.