SiC-приемник для ICP-травления

Semicorex SiC Susceptor для ICP Etch производится с упором на поддержание высоких стандартов качества и стабильности. Надежные производственные процессы, используемые для создания этих токоприемников, гарантируют, что каждая партия соответствует строгим критериям производительности, обеспечивая надежные и стабильные результаты при травлении полупроводников. Кроме того, Semicorex предлагает быстрые графики поставок, что имеет решающее значение для удовлетворения быстро меняющихся требований полупроводниковой промышленности, гарантируя соблюдение сроков производства без ущерба для качества. Мы в Semicorex стремимся производить и поставлять высокопроизводительные SiC-приемник для ICP-травления, сочетающий качество с экономичностью.**

Отправить запрос

Описание продукта

Semicorex SiC Susceptor для ICP Etch известен своей превосходной теплопроводностью, которая обеспечивает быстрое и равномерное распределение тепла по поверхности. Эта функция имеет решающее значение для поддержания постоянной температуры во время процесса травления, обеспечивая высокую точность переноса рисунка. Кроме того, низкий коэффициент теплового расширения SiC сводит к минимуму изменения размеров при различных температурах, тем самым сохраняя структурную целостность и обеспечивая точное и равномерное удаление материала.

Одним из выдающихся свойств SiC Susceptor для ICP Etch является их устойчивость к воздействию плазмы. Это сопротивление гарантирует, что токоприемник не деградирует и не разрушается в суровых условиях плазменной бомбардировки, что часто встречается в процессах травления. Такая долговечность повышает надежность процесса травления и способствует получению чистых, четко определенных рисунков травления с минимальными дефектами.

SiC Susceptor для ICP-травления по своей природе устойчив к коррозии под действием сильных кислот и щелочей, что является важным свойством материалов, используемых в средах ICP-травления. Такая химическая стойкость гарантирует, что SiC Susceptor для ICP Etch сохраняет свои физические и механические свойства с течением времени, даже при воздействии агрессивных химических реагентов. Такая долговечность снижает необходимость частой замены и технического обслуживания, тем самым снижая эксплуатационные расходы и увеличивая время безотказной работы предприятий по производству полупроводников.

SiC Susceptor Semicorex для ICP Etch может быть точно спроектирован в соответствии с конкретными размерными требованиями, что является критическим фактором в производстве полупроводников, где часто требуется индивидуальная настройка для соответствия различным размерам пластин и спецификациям обработки. Такая адаптивность позволяет лучше интегрироваться с существующим оборудованием и технологическими линиями, оптимизируя общую эффективность и результативность процесса травления.