SiC-пустышка

Ключевые характеристики фиктивной пластины SiC

Универсальное тестирование и экспериментирование

SiC-фиктивные пластины необходимы на различных этапах производства полупроводников, обеспечивая безопасные и надежные средства для испытаний и экспериментов. Они имеют решающее значение в начале производственного процесса, обеспечивая оптимальные параметры перед использованием ценных производственных пластин.

Защита в диффузионных процессах

В процессах диффузии фиктивные пластины SiC играют решающую роль, экранируя стандартные кремниевые пластины. Эта защитная функция предотвращает повреждение и загрязнение, сохраняя тем самым целостность и качество первичных пластин.

Точность измерений

Эти пластины тщательно используются для измерения толщины пленки, сопротивления давлению и коэффициента отражения. Они также играют важную роль в обнаружении присутствия пинбола и оценке размеров рисунков в литографии, внося значительный вклад в точность процесса и уменьшение количества дефектов.

Преимущества фиктивной пластины SiC

Устойчивость к высокотемпературному газу

SiC Dummy Wafers обладают замечательной устойчивостью к высокотемпературным газовым атакам, что делает их пригодными для экстремальных условий. Такая устойчивость обеспечивает стабильную производительность даже в самых требовательных средах.

Химическая стабильность

Химическая стабильность SiC-фиктивных пластин позволяет им противостоять различным коррозийным веществам без разрушения. Это свойство важно для сохранения целостности пластины во время химического воздействия.

Поверхность без частиц

Обладая легко очищаемой поверхностью, SiC Dummy Wafers сводит к минимуму образование частиц, что жизненно важно для поддержания среды, свободной от загрязнений. Эта характеристика обеспечивает получение высококачественных результатов и снижает риск появления дефектов.

Долгосрочная структурная целостность

Карбидно-кремниевые пластины-пустышки разработаны таким образом, чтобы противостоять изгибу и деформации с течением времени. Их долговечность гарантирует, что они останутся надежными в течение нескольких циклов испытаний, что снижает необходимость частой замены.

Настраиваемые функции

Semicorex предлагает определяемую пользователем сериализацию для каждой фиктивной пластины SiC, что позволяет настраивать размер и толщину. Индивидуальная лазерная гравировка дополнительно исключает риски перекрестного загрязнения, обеспечивая высокую степень чистоты и надежности.

Приложения в разных отраслях

Производство полупроводников

SiC-фиктивные пластины необходимы в производстве полупроводников, особенно на начальных этапах производства. Они служат защитным барьером, предохраняя кремниевые пластины от потенциальных повреждений и обеспечивая точность процесса.

Обеспечение качества и тестирование

В обеспечении качества фиктивные пластины SiC имеют решающее значение для проверки доставки и оценки форм процесса. Они позволяют точно измерять такие параметры, как толщина пленки, сопротивление давлению и индекс отражения, способствуя проверке производственных процессов.

Литография и проверка рисунка

В литографии эти пластины служат эталоном для измерения размера рисунка и проверки дефектов. Их точность и надежность помогают достичь желаемой геометрической точности, имеющей решающее значение для функциональности полупроводниковых устройств.

Исследования и разработки

В сфере исследований и разработок гибкость и долговечность фиктивных пластин SiC позволяют проводить обширные эксперименты. Их способность выдерживать строгие условия испытаний делает их бесценными для разработки новых полупроводниковых технологий.