SIC с покрытием пластин

Получики SIC, покрытые пластинами, являются передовыми компонентами, которые поддерживают пластины для высокотемпературных процессов в полупроводниковых приложениях, таких как эпитаксиальный рост, диффузия и сердечно-сосудистые заболевания. Носители обеспечивают структурные преимущества от графита высокой чистоты в сочетании с максимальными поверхностными преимуществами с использованием плотного и равномерногоSIC CatingДля оптимальной тепловой стабильности, химической стойкости и механической прочности в условиях трудного обработки.

Графитовая ядра высокой чистоты для оптимальной теплопроводности

Стоимость пластин с покрытием SIC представляют собой субстратный материал ультразлостного зерна, графит высокой чистоты. Это эффективный тепловой проводник, который является как легким, так и механизмом, он может быть изготовлен в сложную геометрию, которая требуется уникальным размером пластины и факторами процесса. Графит предлагает равномерное нагрев на поверхности пластины, ограничивающей возникновение тепловых градиентов и дефектов термической обработки.

Плотное покрытие SIC для защиты поверхности и совместимости процесса

Графитный носитель покрыт высокой чистотой, карбидом кремния CVD. Покрытие SIC обеспечивает непроницаемую, свободную защиту от пор от коррозии, окисления и загрязнения газа процесса от таких видов, как водород, хлор и силан. Конечным результатом является низкочастотный, жесткий несущий, который не разлагается и не теряет стабильность размерных, выбирайте многочисленные тепловые циклы и представляет собой значительно сниженный потенциал загрязнения пластин.

Преимущества и ключевые функции

Термическое сопротивление: покрытия SIC стабильны до температуры, превышающих 1600 ° C, что оптимизировано для высокотемпературных эпитаксии и диффузионных потребностей.

Отличный химический устойчивость: он выдерживает все газы коррозийного процесса и чистящие химические вещества, и обеспечивает более длительный срок службы и меньше простоя.

Низкая генерация частиц: поверхность SIC сводит к минимуму отслаивание и выпадение частиц, и сохраняет чистую среду процесса, которая жизненно важна для выхода устройства.

Управление размерами: точно спроектирован для закрытия допусков, чтобы обеспечить равномерную поддержку пластин, чтобы с ним можно было автоматически обрабатывать с помощью пластин.

Снижение затрат: более длительные жизненные циклы и более низкие потребности в техническом обслуживании обеспечивают более низкую общую стоимость владения (TCO), чем традиционные графитовые или голые носители.

Приложения:

Своины пластин с покрытием SIC широко используются при производстве полупроводников, соединительных полупроводников (таких как GAN, SIC), MEMS, светодиодов и другие устройства, требующие высокотемпературной обработки в агрессивной химической среде. Они особенно важны в эпитаксиальных реакторах, где чистота поверхности, долговечность и тепловая однородность напрямую влияют на качество пластины и эффективность производства.

Настройка и контроль качества

SemicorexSIC покрытПеревозчики пластин производятся в соответствии с строгими протоколами контроля качества. У нас также есть гибкость с стандартными размерами и конфигурациями, и мы можем индивидуально инженерные решения, которые соответствуют требованиям клиентов. Независимо от того, есть ли у вас 4-дюймовый или 12-дюймовый формат пластин, мы можем оптимизировать носители пластин для горизонтальных или вертикальных реакторов, партийной или одноатбочной обработки пластин и конкретных рецептов эпитаксии.