Semicorex Quartz Liquid Stauge-это контейнер с высокой точкой, предназначенный для сбора отходов и остаточных жидкостей в процессах влажной очистки и покрытия с полупроводникой. Выбор Semicorex обеспечивает не только превосходное качество кварцевого материала, но и точное изготовление, которое гарантирует минимальное загрязнение и максимальную надежность в требованиях среды чистой комнаты.*
Semicorex Quartz Liquid Stauge Sange-это специально построенный контейнер для полупроводниковых мокрых чистых применений, где обработка жидкости требует необычайного уровня чистоты и стабильности материалов. В первую очередь этот резервуар используется для сбора отходов или остаточных жидкостей из применения для очистки пластин. Это неоценимо для производительности процесса и контроля загрязнения. Во время мокрой чистой процесса полоскание полупроводниковых пластин включает в себя большие объемы ультрапирной воды или химических реагентов, которые становятся отходом в конце полоскания. Кроме того, остаточная жидкость после полоскания должна быть собрана, потому что она имеет потенциальные примеси следов или ценные химические компоненты, которые не должны спускаться по канализации. Жидкость для отходов также должна собираться при выполнении этапов покрытия, например, фоторезистского применения, где необходимо собирать дополнительные остатки или химикат отходов. Таким образом, резервуар для хранения жидкости кварца имеет идеальные результаты, чтобы обеспечить высокую чистоту, химическую совместимость и низкие свойства загрязнения.
Танк изготовлен из платкового кварца с высокой точностью, который очень устойчив к сильным кислотам, щелочкам и растворителям, регулярно используемым в полупроводниковой очистке и литографии. Будь то обычный контейнер, Quartz придает частям жидкий материал наилучшим шансом на воздействие, выщелачивание или нежелательное воздействие загрязняющих веществ. Одним из ведущих аспектов резервуара для хранения жидкости кварца является способность поддерживать аналитические рабочие процессы в полупроводниковых тканях, поскольку остаточные жидкости, собранные в кварцевом сосуде, можно использовать в нижестоящих процессах, таких как обнаружение примесей, анализ загрязнения и химическая переработка. Вознаграждая свойствам кварца, он может безопасно содержать остаточные жидкости и обеспечивать визуальную оценку без риска взаимодействия, учитывая его инертность и прозрачность, в дополнение к его тепловой стабильности, которая позволяет слегка ускорить жидкость в резервуаре. Тем не менее, резервуар для хранения жидкости кварца предназначен как для сбора отходов, так и для краткосрочного хранения до их передачи или обработки.
Каждая деталь управления загрязнением процесса имеет значение, особенно в том, что усовершенствованные узлы производства устройств сокращаются и параметры чистоты становятся более строгими. Кварцевый резервуар для хранения жидкости гарантирует, что операторы FAB уверены, что управление отходами не станет источником вторичного загрязнения. Содержит остаточные растворы для очистки или избыточные процессовые жидкости, это предотвращает действительные рабочие процессы вверх и нижестоящих рабочих процессов. Кроме того, резервуар поддерживает цели FAB по устойчивому развитию, поскольку собираемые жидкости могут быть обработаны для очистки и повторного использования реагентов, тем самым используя еще один менее химический процесс и приводит к меньшему количеству нагрузки на окружающую среду в целом.
С практической точки зрения, конструкция резервуара для хранения жидкости кварца позволяет легко включать его в оборудование для оборудования для чистки и химических веществ. Форм -фактор может быть адаптирован к существующей конфигурациям инструментов. Методы точного изготовления обеспечивают круглые размеры, и что гладкая внутренняя поверхность легко переносит и хранит все жидкости в вашей полупроводниковой Fab Fab. Непористая кварцевая структура предотвратит поглощение загрязняющих веществ и позволит очистить резервуар, что делает его способным для повторного использования, в отличие от обычных пластиковых контейнеров, работающих в химических контролируемых средах при значительных объемных операциях.
Суть в том, что резервуар для хранения жидкости кварца специально предназначен для важности во всех полупроводниках влажной чистки и покрытия. Создавая наилучшую возможную чистоту материала, химическую стойкость и хранение жидкости без загрязнения на полупроводниковом операционном объекте, FABS способны эффективно контролировать свой процесс практически без сильного загрязнения. Независимо от того, использует ли FAB бак для получения прямого сбора отходов, для восстановления реагента и т. Д., Или для анализа примесей, история критических шагов в процессе остается в исходном состоянии без ущерба для работы. Если вы хотите максимизировать урожайность, минимизировать риск вашего рабочего процесса до потери стабильности и максимизировать эффективность химического управления побочными продуктами, Quartz без загрязнения является единственным выбором, который обеспечивает надежную производительность со всей вашей влажной чисткой.