Кварцевая трубка печи

Кварцевая печная трубка Semicorex, вафельные лодочки, кварцевые тигли для выращивания монокристаллов кремния изготовлены из высокочистого материала.кварцевый материалКомпоненты в высокотемпературной зоне расходуются быстрее, но они обычно используются в системах с несколькими пластинами (один носитель содержит несколько кремниевых пластин), тогда как компоненты в низкотемпературной зоне расходуются медленнее, но они используются в системах с одной пластиной (один носитель содержит одну кремниевую пластину); следовательно, общий размер рынка для обоих относительно аналогичен.

1. Высокотемпературными деталями являются кварцевая трубка печи, вафельная лодочка, держатель лодочки и т. д. Они должны прямо или косвенно контактировать с кремниевой пластиной в высокотемпературной среде, в основном изготовлены из материала плавленого кварцевого стекла, полученного путем термической обработки.

2. Низкотемпературные детали представляют собой кварцевые кольца в процессе травления, включая кассеты, очистительные баки в процессе очистки. Они в основном используются в низкотемпературной среде и в основном изготовлены из плавленого кварцевого стекла, полученного методом холодной обработки.

Компоненты в высокотемпературной зоне расходуются быстрее, но они обычно используются в системах с несколькими пластинами (один носитель содержит несколько кремниевых пластин), тогда как компоненты в низкотемпературной зоне расходуются медленнее, но они используются в системах с одной пластиной (один носитель содержит одну кремниевую пластину); следовательно, общий размер рынка для обоих относительно аналогичен.

Печь - это область, в которой пластины подвергаются высокотемпературному процессу нагрева, состоящая из кварцевой печи, реактора и нескольких нагревателей. Она широко применяется в процессах диффузии, окисления и RTP при обработке полупроводников. Печи в основном делятся на горизонтальные и вертикальные типы: . В горизонтальной печи пластины помещаются на кварцевую лодочку, которая, в свою очередь, размещается на носителе SiC. Спереди и сзади также имеются адаптивные перегородки. Носитель вдавливается в кварцевую трубку печи, и пластины подвергаются реакции в зоне постоянной температуры. В вертикальной печи пластины помещаются на кварцевую башню, а затем медленно поднимаются в трубу кварцевой печи для обработки.

Из-за высоких температур, участвующих в вышеуказанных процессах, чтобы предотвратить сильную деформацию и разрушение кварцевой печи после многократного и длительного использования, при производстве следует использовать кварцевую трубу, устойчивую к деформации и разрушению и имеющую длительный срок службы.

Вот преимуществакварцпечная труба:

1. Высокая термостойкость. Кварцевое стекло имеет температуру размягчения около 1730 ℃ и может использоваться в течение длительного времени при температуре 1150 ℃, при этом кратковременная максимальная температура достигает 1450 ℃.

2. Коррозионная стойкость. За исключением плавиковой кислоты, кварц высокой чистоты практически не вступает в химическую реакцию с другими кислотными веществами. При высоких температурах он может противостоять коррозии от серной кислоты, азотной кислоты, соляной кислоты, царской водки, нейтральных солей, углерода и серы. Его кислотостойкость в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали.  Его химическая стабильность, особенно при высоких температурах, не имеет себе равных среди других технических материалов.

3. Хорошая термическая стабильность. Кварц высокой чистоты имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения и выдерживает резкие перепады температур.  Нагрев кварца высокой чистоты примерно до 1100 ℃ и последующее погружение его в воду комнатной температуры не приведет к его разрушению.

4. Хорошая светопроницаемость. Кварц высокой чистоты имеет хорошие характеристики светопропускания во всем спектре от ультрафиолетового до инфракрасного. Коэффициент пропускания видимого света превышает 93%, а в ультрафиолетовом спектре максимальный коэффициент пропускания может достигать более 80%.

5. Хорошие показатели электроизоляции. Удельное сопротивление кварца высокой чистоты в десять тысяч раз превышает сопротивление обычного кварцевого стекла, что делает его отличным электроизоляционным материалом, обладающим хорошими электрическими свойствами даже при высоких температурах.