Полупроводниковые кварцевые диффузионные трубки

Кварцевые лодкиобычно используются в условиях высокой температуры и жесткой химической коррозии. Во время операции полупроводниковые пластины помещаются в кварцевую лодочку и вставляются в кварцевую диффузионную трубку. Когда диффузионная трубка достигает необходимой температуры (от нескольких сотен до нескольких тысяч градусов Цельсия), технологические газы (например, O₂, N2, H₂, Ar) и легирующие газы (например, POCl₃, BBr₃) вводятся в кварцевую диффузионную трубку через газовые отверстия для выполнения окисления, диффузии и отжига полупроводниковых пластин. Кроме того, чтобы улучшить однородность и точность диффузии, некоторые диффузионные процессы необходимо проводить в среде низкого давления. 

В современных процессах производства полупроводников любая незначительная ошибка или недостаток в этих процессах может привести к сбою последующих процессов. Поэтому качество кварцевых диффузионных трубок, являющихся важнейшей частью производства полупроводников, имеет большое значение и напрямую влияет на производительность и производительность полупроводниковых устройств.

Технические характеристики Semicorex Полупроводниковый кварц

Кварцевые диффузионные трубки полупроводникового класса Semicorex тщательно изготовлены из высококачественногополупроводниковый кварцматериал. Ниже приведены его конкретные параметры:

Параметры могут быть настроены в соответствии с требованиями заказчика.

Производительность кварцевых диффузионных трубок полупроводникового класса Semicorex

Опираясь на наш опыт в технологии обработки и надежный выбор материалов, компания Semicorex полупроводникового классакварцевые диффузионные трубкипродемонстрировать превосходную производительность в сложных условиях эксплуатации:

1. Устойчивость к высоким температурам.

Кварцевые диффузионные трубки полупроводникового класса Semicorex обладают замечательной устойчивостью к высоким температурам, что позволяет им стабильно работать в высокотемпературных средах до 1200 ℃ без какой-либо деформации или повреждения.

2. Характеристики термостабильности

Обладая исключительным коэффициентом теплового расширения, кварцевые диффузионные трубки полупроводникового класса Semicorex способны выдерживать термические нагрузки при быстром нагреве или охлаждении, не растрескиваясь и не деформируясь.

3. Характеристики химической стойкости.

Кварцевые диффузионные трубки полупроводникового класса Semicorex обеспечивают превосходную химическую инертность в высокотемпературных и агрессивных агрессивных средах. Эти характеристики в значительной степени предотвращают влияние загрязнений, образующихся в результате реакции с технологическими газами, на качество пластин.