Токоприемник Semicorex с покрытием из карбида кремния для индуктивно-связанной плазмы (ICP) разработан специально для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Обладая стабильной стойкостью к высокотемпературному окислению до 1600°C, наши носители обеспечивают ровные тепловые профили, ламинарный характер газового потока и предотвращают загрязнение или диффузию примесей.
Читать далееОтправить запрос