15-дюймовый кварцевый колокольчик

Кварцевый колпак Semicorex 15 дюймов разработан для решения этих задач, обеспечивая высокопроизводительное решение для серийной обработки средних и крупных объемов, где термическая однородность и чистота материала необходимы для максимизации выхода. В полупроводниковой и тонкопленочной промышленности целостность технологической камеры имеет первостепенное значение. Поскольку размеры пластин увеличиваются, а узлы уменьшаются, требования к чистой, стабильной и химически инертной среде становятся неоспоримыми.

1. Материаловедение: чистота плавленого кремнезема

Основа нашего колпака отличается высокой чистотой.плавленый кварц (кварц). В отличие от обычного стекла, кварц почти полностью состоит из SiO2, что обеспечивает ему уникальные свойства, жизненно важные для производства полупроводников:

Сверхнизкое загрязнение: наш кварц обработан таким образом, чтобы свести к минимуму содержание металлических микроэлементов (таких как Al, Fe, Na и K) до уровня частей на миллиард (ppb). Это предотвращает диффузию примесей внутрь пластины во время высокотемпературных циклов, обеспечивая электрическую целостность устройств.

Превосходная стойкость к тепловому удару: кварц обладает почти нулевым коэффициентом теплового расширения (КТР). Это позволяет 15-дюймовому кварцевому колоколу выдерживать резкое повышение температуры и закалку без риска разрушения или усталости конструкции, что является важнейшим требованием для реакторов с высокой производительностью.

Превосходная химическая инертность: кварц обладает высокой устойчивостью к большинству кислот (за исключением плавиковой кислоты) и агрессивным технологическим газам, что гарантирует, что камера не деградирует и не выделяет газ во время агрессивных циклов травления или осаждения.

2. Точность машиностроения и оптическая прозрачность.

15-дюймовый кварцевый колпак обеспечивает максимальный объем и оптимальную динамику газового потока для периодической обработки пластин. Банка имеет вертикальную трубу (также известную как горловина), которая оптимально спроектирована для обеспечения входа газа или помощи в извлечении газа через вакуум из банки, как показано на изображении выше.

Оптическая прозрачность - Высокий уровень передачикварцевый материализлучать длины волн в ультрафиолетовой, видимой и инфракрасной областях спектра, что позволяет осуществлять обработку в реальном времени, а также использовать внешние ламповые нагреватели для быстрой термической обработки (RTP).

Усиленные уплотнительные поверхности. Горлышко банки имеет специально разработанное непрозрачное белое уплотнение (также называемое заземляющим соединением), которое обеспечивает герметичное (воздушное) и вакуумное соединение между опорной плитой реактора и банкой.

Отжиг для снятия напряжений. Все 15-дюймовые кварцевые колпаки подвергаются строгому термическому отжигу для снятия внутреннего механического напряжения, возникающего на банке в результате механического процесса выдувания или формования банки, что значительно снижает вероятность того, что банка самопроизвольно выйдет из строя при помещении под вакуумную нагрузку.

3. Критические приложения на производстве полупроводников

Наш 15-дюймовый кварцевый колпак специально разработан для интеграции в следующие важные процессы:

Кремниевая эпитаксия: создание прозрачного, инертного сосуда для выращивания высококачественных слоев монокристаллического кремния.

Плазменное CVD (PECVD): устойчивость к агрессивной плазменной среде при сохранении высокой диэлектрической прочности.

Диффузия и окисление: служит чистой высокотемпературной камерой для образования оксидов под затвором и введения легирующих примесей.

Производство преформ оптического волокна: идеально подходит для нанесения слоев кремнезема высокой чистоты при производстве специального стекла.

В компании Semicorex мы обращаемся с каждым колпаком как с прецизионным лабораторным оборудованием. Наш процесс включает в себя: Строгий подбор материалов с проверенным электронным качеством.кварцслитки; передовое производство, сочетающее традиционные навыки выдувания стекла с шлифовкой и полировкой на станках с ЧПУ; и тщательный осмотр с использованием поляризованного света для обнаружения остаточного напряжения и лазерной интерферометрии для точной проверки размеров.