Загрузчик пластин

Рычаг загрузчика пластин изготовлен из керамических материалов на основе глинозема высокой чистоты, что обеспечивает исключительный уровень чистоты, что имеет решающее значение для производства полупроводников. Высокая чистота керамики сводит к минимуму риск загрязнения, что жизненно важно для сохранения целостности пластин во время работы. Эта превосходная чистота необходима в средах, где даже самые мелкие примеси могут оказать существенное негативное влияние на качество конечного продукта.

Одной из выдающихся особенностей манипулятора для загрузки пластин Semicorex является точность изготовления, обеспечивающая допуски до ±0,001 мм. Такой уровень точности размеров гарантирует, что манипулятор может обрабатывать пластины с исключительной точностью, снижая риск неправильного обращения или смещения на критических этапах обработки. Точные размеры также обеспечивают совместимость с существующим оборудованием, облегчая плавную интеграцию в текущие производственные установки.

Керамика из глинозема, используемая в манипуляторе пластин, демонстрирует замечательную устойчивость к высоким температурам, выдерживая температуры до 1600°C. Это свойство важно для применения в условиях высоких температур, обеспечивая сохранение формы и структурной целостности рычага при термическом напряжении. Уменьшение отклонения при повышенных температурах повышает надежность и точность работы с пластинами даже в самых сложных термических условиях.

В полупроводниковых процессах, таких как очистка и травление, рычаг загрузки пластин демонстрирует исключительную коррозионную стойкость к различным химическим жидкостям. Алюмооксидный керамический материал остается стабильным и сохраняет свои эксплуатационные характеристики при воздействии агрессивных химических сред. Эта коррозионная стойкость продлевает срок службы рычага, уменьшая необходимость в частой замене и техническом обслуживании, тем самым повышая общую эффективность.

Качество поверхности манипулятора для загрузки пластин тщательно контролируется: средний уровень шероховатости (Ra) составляет 0,1, а поверхность не содержит металлических загрязнений и частиц. Такое высокое качество поверхности гарантирует деликатное обращение с пластинами, предотвращая появление царапин, загрязнений и других дефектов поверхности, которые могут поставить под угрозу функциональность пластины. Поддержание безупречной поверхности имеет решающее значение для процессов, требующих максимальной точности и чистоты.

Керамический материал из глинозема обеспечивает износостойкость, значительно превосходящую износостойкость традиционных материалов, таких как сталь и хромистая сталь. Эта исключительная износостойкость гарантирует, что рычаг загрузчика пластин может выдерживать длительное использование без существенного ухудшения качества, сохраняя свою точность и эффективность с течением времени. Снижение износа также способствует снижению эксплуатационных расходов за счет сведения к минимуму необходимости частой замены деталей.

Несмотря на свою прочность, манипулятор Wafer Loader имеет небольшой вес, что эффективно снижает нагрузку на оборудование. Такое снижение веса не только повышает общую эффективность системы обработки пластин, но и продлевает срок службы соответствующего оборудования. Меньший вес обеспечивает более плавные и быстрые движения, повышая производительность и надежность процесса обработки пластин.