Тефлоновые кассеты

Кассеты Semicorex Тефлоновые кассеты представляют собой высокопроизводительные носители пластин, специально разработанные для использования в требующих химических средах, где необходимы чистота, химическая устойчивость и тепловая стабильность. Изготовленные из политетрафторээтилена высокой чистоты (PTFE), эти кассеты широко используются в производстве полупроводников, влажном травлении, химической очистке и других применениях, где воздействие очень агрессивных химических веществ является обычным делом. Их нереактивная природа делает их идеальными для обработки деликатных субстратов, таких как кремниевые пластины, стеклянные панели и другие точные компоненты без введения в процесс загрязнения или частиц.

В различных процессах производства полупроводников, таких как литография, травление и ионная имплантация, кассеты играют роль в транспортировке и передаче пласти между различными устройствами. Разнообразное процессовое оборудование может иметь разные требования к интерфейсу для кассет, чтобы гарантировать, что носители пластин можно было точно получить и размещать.

С точки зрения материала и конструкции, материалы, которые являются термостойкими, обладают превосходными механическими свойствами, размерной стабильностью и являются долговечными, антистатическими, обычно используются низкие осадки и применяемые к переработке. Различные размеры пластин, узлы процесса и процессы используют разные материалы. Общие материалы - PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, ПК, PBT, PEI, COP и т. Д.

Тефлоновые кассеты обеспечивают превосходную химическую устойчивость в средах с использованием гидрофлуорической кислоты, азотной кислоты, серной кислоты и других сильных коррозив. В отличие от обычных материалов, таких как полипропилен или нержавеющая сталь, PTFE не разлагается; не набухает; Выщелачивает веществ в суровых химических банях. Поэтому производительность гарантируется в течение длительных периодов и, следовательно, надежность кассет для высокопроизводительных производственных линий и ультрачистых сред. Его надежность означает более низкие потребности в техническом обслуживании и частоту замены, тем самым снижая долгосрочные эксплуатационные расходы.

Тефлоновые кассеты демонстрируют очень высокую тепловую стабильность. Они могут легко противостоять температуре от -200 ° C до +260 ° C, применимых как к криогенным, так и для высокотемпературных процессов. Даже размещенные в нагретых камерах сушки или холодных химических ваннах, кассеты не теряют свою структурную прочность; Они не деформируются и не трескаются, гарантируя, что пластины останутся в безопасности во время обработки. Эта температурная устойчивость вносит значительный вклад в управление и однородность обработки, которые имеют решающее значение для изготовления полупроводников и MEMS.

Не менее важной характеристикой тефлоновых кассет является ее инертная, неприжигая поверхность. По своей природе PTFE не допускает адсорбцию частиц и химических остатков, что снижает риски загрязнения в средах чистой комнаты. Это должно быть связано с гладкой поверхностной отделкой, которая позволяет легко и быстро высыхать, таким образом, более чистые результаты и более быстрое время цикла. При полупроводниковой обработке, где дефекты могут быть вызваны даже микроскопическими загрязнениями, эта чистота и уровень химической инертности являются обязательными.

Каждая кассета точно изготовлена с допусков плотных размеров, гарантируя устойчивое выравнивание пластины и расстояние во время перемещения и размещения в жидкости. Их легко спроектированная форма помогает быстрому химическому потоку и дренажу, что ускоряет скорость химического обмена и улучшает однородность очистки или травления на поверхности пластины.  Кассеты доступны в стандартных размерах для 4-дюймовых, 6-дюймовых и 8-дюймовых пластин, с параметрами настройки, доступными для соответствия определенным размерам субстрата, количеством слотов и требованиям к обработке.

Разработанные для совместимости с автоматизированными мокрыми скамьями и системами обработки роботизированных вафель, тефлоновые кассеты легко интегрируются в большинство полупроводниковых производственных настройки. Их надежная конструкция и отделка чистой комнаты соответствуют строгим требованиям сертифицированной ISO-сертифицированной среды. Все кассеты проходят тщательную проверку и предварительно очищены в ультрачистой воде, чтобы соответствовать стандартам чистоты, необходимых для передового производства микроэлектроники. Сертификаты соответствия и полной прослеживаемости материала могут быть предоставлены для обеспечения соответствия протоколам обеспечения качества.