SiC нагревательная нить

Нагревательная нить Semicorex SiC Heating Filament, высоковакуумный нагревательный элемент, разработанный для обработки пластин при производстве новых полупроводников, представляет собой инновационный нагревательный элемент, разработанный с использованиемграфитовый сердечники высокой чистотыпокрытие из карбида кремния. В специальной нити используется теплопроводность графита, а также долговечность и защита карбида кремния, в результате чего со временем получается стабильный и энергоэффективный нагреватель. Нагревательная нить SiC предназначена для равномерного нагрева пластин и достижения требуемых характеристик, что делает ее отличным компонентом для высокотемпературной обработки полупроводников, такой как эпитаксия, диффузия и отжиг.

Нагревательная нить SiC изготовлена ​​из графита высокой чистоты благодаря его термическим и качественным электрическим свойствам. Графит выполняет основную функцию нагрева, обеспечивая быстрый отклик и эффективный нагрев при электрической нагрузке. Плотное покрытие SiC высокой чистоты защищает нить от возможных источников загрязнения. Покрытие SiC защищает пластину от химического загрязнения и окисления, а также частиц в камере, продлевает срок службы нити и создает чистую среду в камере.

Ключевым качеством нагревательной нити SiC является способность обеспечивать равномерный нагрев пластины. Колебания температуры на пластине могут привести к дефектам или потере производительности. Нагревательная нить SiC обладает превосходной теплопроводностью, а прочная конструкция нити гарантирует стабильность и равномерность нагрева, ограничивая температурные градиенты и обеспечивая абсолютный контроль процесса.

Нагревательная нить SiC настраивается, значение электрического сопротивления каждой нити можно настроить в соответствии с технологическим инструментом и рабочей средой. Такая настройка позволяет технологии карбида кремния контролировать значение сопротивления геометрии нити, толщину покрытия и свойства материала. Нагревательная нить SiC подходит для печей различных конструкций, с пластинами разных размеров и рецептурами процессов. Это особенно выгодно для производителей полупроводников, поскольку позволяет текущим процессам работать более эффективно и сохраняет совместимость с уже существующими системами.  Третья особенность производительности – долговечность. В высокотемпературных полупроводниковых процессах нагревательный элемент подвергается воздействию очень агрессивной химической среды и повторяющимся термическим циклам.

Нагревательная нить Semicorex SiC применяется в широком спектре процессов изготовления полупроводниковых приборов. Например, во время эпитаксиального роста нагревательный элемент обеспечивает стабильную и однородную температуру подложки для нанесения высококачественных кристаллических пленок.