Графитовые тигли с SiC-покрытием

Установлен в центре высокотемпературных печей для выращивания кристаллов.с покрытием SiCграфитовые тигли работают в сочетании с нагревателями, теплоизоляционными рукавами, направляющими трубками и валами тигля, образуя полную систему теплового поля. Эта система теплового поля может поддерживать стабильную высокотемпературную среду, необходимую для роста кристаллов.

Производство SiC-покрытийграфитовые тиглиобычно начинается с использования передовой технологии химического осаждения из паровой фазы для равномерного нанесения плотного слоя.карбид кремнияпокрытие на поверхности сформированной графитовой подложки. Состоит из высокочистогографитПодложка и плотное покрытие из карбида кремния, графитовый тигель с покрытием SiC образуют синергетическую структуру, которая сочетает в себе теплопроводность графита с коррозионной стойкостью карбида кремния.

Метод Чохральского — универсальный промышленный метод выращивания кристаллов. Этот метод будет оказывать центробежную силу на тигель во время производства кристаллов. Превосходная прочность на изгиб и ударная вязкость графитовых тиглей с покрытием SiC могут предотвратить поломку или растрескивание во время высокоскоростного вращения, эффективно сокращая перерывы в производстве, вызванные повреждением тигля. Кроме того, во время этого процесса тигли должны подвергаться резким колебаниям температуры в течение короткого периода времени. Благодаря своей замечательной стойкости к термическому удару графитовые тигли с покрытием SiC могут уменьшить структурные повреждения, связанные с тепловым напряжением, обеспечить стабильность их формы, тем самым уменьшая дефекты роста кристаллов, вызванные деформацией тигля.

При высоких температурах графитовые тигли с покрытием SiC образуют плотный защитный слой карбида кремния. Этот защитный слой может изолировать графитовую подложку от паров кремния и расплавленного кремния, тем самым сводя к минимуму риски коррозии графитовой подложки и загрязнения кристаллов, связанные с отслаиванием покрытия. Таким образом, графитовые тигли Semicorex с SiC-покрытием могут выдерживать различные сложные высокотемпературные коррозионные среды в течение длительных периодов реальной эксплуатации. Это обеспечивает стабильный кристаллический состав и снижает количество дефектов, что важно для производства высококачественных полупроводниковых кристаллов.