Роботизированные манипуляторы Semicorex из глиноземной керамики, также называемые концевыми эффекторами из глиноземной керамики, представляют собой важнейшие керамические детали, которые в основном применяются в производстве полупроводниковых компонентов для обработки, транспортировки и позиционирования пластин. Роботизированные манипуляторы Semicorex из глиноземной керамики, которые обладают как надежной производительностью, так и конкурентоспособной ценой, могут обеспечить высокоточную передачу пластин без загрязнений и повреждений.
Обладая высокой чистотой, превосходной параллельностью, точными размерами, стабильной надежностью и эффективной работой, керамические манипуляторы роботов являются незаменимыми компонентами, широко применяемыми в передовом производстве полупроводников. Благодаря постоянному развитию промышленной автоматизации рыночный спрос на керамические роботы-манипуляторы неуклонно растет.
Высокопроизводительные отрасли, включая производство пластин, фотоэлектрическую область и прецизионную электронику, предъявляют строгие эксплуатационные требования к компонентам оборудования. Семикорексглиноземная керамикаРоботизированные манипуляторы могут полностью удовлетворить эти строгие требования производства полупроводников в условиях вакуума и высоких температур благодаря превосходным характеристикам материала, показанным ниже.
1. Высокая механическая прочность и твердость.
2. Высокая температура плавления и надежная термическая стабильность.
3. Исключительная химическая коррозия.
4. Отличные характеристики электроизоляции.
| Характеристики |
Плотность |
Прочность на изгиб (20℃) |
Прочность на сжатие (20 ℃) |
Твердость (по Кнупу 1000 г) |
Предел прочности (25 ℃) |
Коэффициент теплового расширения (25-1000 ℃) |
Максимальная температура использования |
||||||||||
| Единица | г/см³ |
МПа |
МПа |
ГПа |
МПа |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99,5% Al₂O₃ |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Приведенные выше данные предназначены только для справки.
1. Высокая точность обработки.
Семикорексруки робота из глинозема и керамикиидеально подходят для стабильной обработки пластин, а также высокоточного захвата и транспортировки пластин в чувствительных к загрязнению цехах по производству пластин в полупроводниковой и фотоэлектрической областях, надежно обеспечивая чистоту пластин и выход чипов.
2.Химическая обработка
Роботы-манипуляторы Semicorex из глиноземной керамики способны выдерживать коррозию сильных кислот и щелочей и хорошо подходят для работы в агрессивных химических условиях, например, в химической промышленности и производстве новых энергетических батарей.
3. Высокотемпературное производство. Роботы-манипуляторы Semicorex из глиноземной керамики могут широко использоваться в производстве стекла, литье и металлургии, поскольку они могут удовлетворить требования по поддержанию надежной прочности и стабильности в сложных высокотемпературных условиях.