Полупроводниковые кварцевые крестики

Получикс полупроводниковые растворы - это расходные материалы в полупроводниковой промышленности, в частности, для кварцевых тиглей, используемых в процессе вытягивания кристаллов кремниевого монокристаллического производства. Они изготовлены из Quartz с ультрачинными пленками, который удовлетворяет чистоте, однородности и теплостойкости и производится для удовлетворения высоких требований современного производства полупроводников. Они жизненно важны для спецификации слитка кремния, потому что их атрибуты напрямую влияют на производительность пластины и урожайность в обработке интегрированной схемы.

С тепловой и физической точки зрения: Кварцевые крестики могут очень хорошо выдержать тепло. Точка деформации составляет приблизительно 1100 ° C, точка смягчения составляет приблизительно 1730 ° C, а максимальная непрерывная температура обслуживания составляет 1100 ° C, краткосрочное воздействие до 1450 ° C]. Эти свойства допускают удобство использования при высоких температурах, обеспечивая высокую чистоту и термическую устойчивость, и, следовательно, способствуют стабильности во время процессов тяги кристаллов цзокральского (CZ), где необходимо минимизировать загрязнение и деформацию, а точные тепловые профили имеют первостепенное значение для получения гомогенного роста кристалла.

С структурной точки зрения, полупроводниковые кварцевые тигны состоят из слоистой композитной структуры, предназначенной для тепловых свойств и механической прочности. Начальный (движущийся внутрь) слой представляет собой прозрачный кварцевый слой, который, как правило, является одной трети толщины стенки (около 3–5 мм) и имеет относительно низкое содержание пузырьков (в зависимости от метода обработки), и, следовательно, поверхность без дефектов будет контактировать с расплавленной кремнической квартальной поверхностью (этот способствует контролированию конфликта и устанавливаемой для устаревшего роста).

Внешняя внешняя часть наслоина более высоким уровнем пузырьков, способствующих прочтке деформации тигля, более высокой тепловой устойчивости и теплоизоляции от источника тепла для однородности радиации. Слои тигаля позволяют ему поддерживать форму и целостность, несмотря на то, что тепловые градиенты, которые существуют в процессе вытягивания кристаллов, существуют.

Современные кварцевые крестины развивались дальше, чем традиционная двухслойная структура из-за достижений в технологии производства. Многие крестики используют трехслойную структуру-прозрачный внутренний слой, прозрачный средний слой, который рассеивается пузырьками через кварц, и внешний тонкий слой игристого кварца. Трехслойные конструкции предлагают лучшую механическую прочность, тепловое управление и выгоду затрат, а также улучшают характеристики теплопередачи. Кроме того, некоторые крестики наносят покрытия ионов щелочных металлов (например, растворы ионов бария) на внутреннюю поверхность или используют синтетический кварц высокого чистоты в определенных слоях, чтобы помочь уменьшить содержание кислорода, истощать чистоту и улучшить общее качество вытянутых монокристаллов.

Производство кварцевых крестел для полупроводников предназначено для строгих допусков контроля качества в необходимой чистоте, которая обычно составляет несколько частей на миллиард металлических примесей. Сырье тщательно отобраны и очищают для удаления любых загрязняющих веществ. Они сформированы до шероховатых размеров, с примененной тепловой обработкой и поверхностью, законченной для устранения точности размерных, механической прочности и чистоты. Процесс предназначен для того, чтобы гарантировать, что крестики будут оставаться надежными, одновременно подвергаясь длительному высокотемпературному воздействию в суровых химических средах.

Эффективность кварцевого тиран в полупроводниковом производстве влияет на однородность решетки из кристаллов кремния, плотность дефектов и кислород в слитке. Высокая чистота и кварцевые тихости без дефектов будут ограничивать дислокацию кристаллических дефектов, повысить скорость урожайности и установить способность генерирования пластин для продвижения геометрии устройства. Если вы являетесь производителем ICS HGH-Performance, кремниевого кремния фотоэлектрического класса или электроники питания, выбор и использование кварцевых тиглей высокого качества является важным элементом для установления и оптимизации эффективности затрат.

SemicorexПолупроводник кварцКрагни являются важным вспомогательным материалом для любой системы вытягивания кристаллов кремния. Уникальные атрибуты чистоты, высокотемпературной стабильности и запатентованных многослойных структур делают этот материал подходящим материалом для поддержки суровости процесса вытягивания CZ, обеспечивая при этом постоянную и воспроизводимую производительность. По мере того, как производство полупроводников движется в направлении более высокой интеграции и более жестких допусков, значительные преимущества с добавленной стоимостью из-за того, что они инженерированные типистые тигны приведут к большему количеству важности для обеспечения и разработки электронных технологий следующего поколения.