Semicorex жесткий графитный войлок представляет собой высокопроизводительный теплоизоляционный материал, изготовленный из углеродного волокна на основе PAN и вискозы, широко используемого в высокотемпературных промышленных печи. Выберите Semicorex для его передовых производственных процессов и проверенного опыта в предоставлении долговечных и надежных решений для требовательных полупроводниковых приложений.*
Жесткий графитный войлок может быть сформирован путем изыскания из мягкого войлока и мокрой формы. Общий метод ламинирования для создания твердого войлока графита из углеродного волокна использует мягкий войлок как сырье. Процесс производства начинается с резки: разрезание нескольких кусочков пробелов, немного больше, чем конечный размер твердого войлока от мягкого войлока. После резки он пропитывается смолой и другими связующими материалами, а пропитанные заготовки укладываются в несколько слоев в соответствии с требуемой толщиной сильного войлока.
Проведение в производстве мягкого войлока в основном пропитывает катализаторами, чтобы сделать вискозные волокна более стабильными в последующей термической обработке; в то время как пропитка жесткого графита войлока в основном пропитчна терморевной смолой. В последующем процессе нагрева и отверждения жидкая смола затвердевает, а множественные слои мягкого войлока тесно объединяются со смолой для формы.
Смола + углеродное волокно мягкое белье позволяет материалу достигать эффекта «1 + 1> 2» в некоторых свойствах. После нагрева и отверждения многослойного мягкого ощущения, пропитанного смолой, больше не может быть свернуты, как мягкий войлок, а плотность и прочность на сжатие материала также увеличиваются.
Во время роста PVT монокристаллов углеродное волокно играет роль в сохранении тепла. Чистота жесткого ощущения графита имеет решающее значение для успешного роста кристаллов SIC. Примеси в изоляции, ощущаемая материал, являются одним из источников загрязнения примесей во время процесса роста. Содержание ключевых примесей элементов в углеродном волокне контролируется ниже 10-6, а общее содержание золы должно строго контролировать. According to the patent, it adopts different high-temperature multi-stage purification treatment methods, using multiple gas circulation steps in each stage to convert high-melting point impurities into low-melting point compounds, and discharge impurity gases, and finally obtain high-purity carbon fiber felt, whose ash content is less than 20mg·kg, and Al, B, Fe, V are less than 0.1mg·kg.
Жесткий графитный войлок также имеет ключевые технологии для контроля единообразия потока, включая температурное поле и контроль поля потока газа. Температурное поле равномерное в монокристаллической печи путем разработки областей компенсации температуры, многозонового независимого контроля температуры и изменения формы и расположения нагревателя.