ПФА ПАЛЕРЫ

Semicorex pfaПластиныВысокопроизводительные носители, предназначенные для безопасной обработки, хранения и транспортировки полупроводниковых пластин в ультрачистой среде. Производство передовых полупроводников гарантирует, что носители пластин PFA предлагают непревзойденную химическую стойкость, тепловую стабильность и контроль частиц от целостности и чистоты пластин во время изготовления до окончательного тестирования.

Изготовленные из нового PFA, эти носители пластин демонстрируют большую устойчивость к суровым химическим веществам, таким как сильные кислоты, основания и растворители, обычно используемые при чистке и травлениях. Очень низкие свойства выщелачивания и исчезновения PFA делают его предпочтительным материалом для важных задач в области чистой комнаты, где даже крошечное количество загрязняющих веществ может влиять на урожайность устройства.

ПАСПОРТАТЕЛЬСТВА PFA выполняются в чистых комнатах и работают с стандартами чистой комнаты класса 1 (ISO 3). Гладкая, непримененная поверхность PFA сводит к минимуму генерацию частиц и адгезию, предотвращая загрязнение от остатков или частиц. Кроме того, гидрофобная природа PFA способствует тщательному полосканию и быстрому сушке, что еще больше снижает риск перекрестного загрязнения на этапах влажной обработки.

Каждый перевозчик пластин PFA точно сделан, чтобы обеспечить безопасность и даже поддержку пластин во время перемещения и сохранения. Влоты с рифенами помогают пластинкам с небольшим контактом, уменьшая напряжение и разбивая края пластин. Перевозчики бывают разных форм, чтобы соответствовать различным размерам пластин, которые включают 100 мм, 150 мм, 200 мм и диаметром 300 мм. Дополнительные вершины и плотные способы блокировки обеспечивают дополнительную безопасность от шока для товаров, вибрации и воздействия окружающей среды.

Из-за превосходной термической сопротивления PFA до 260 ° C он совместим с высокотемпературными процессами, такими как диффузия, окисление и химическое осаждение пара. Носитель сохраняет свою структурную целостность при повторном термическом цикличке и, следовательно, подходит как для пакетной, так и для автоматизированных сред.

ПАС-носители PFA имеют широкое применение в очистке пластин, влажном травлении, фотолитографии CMP и других передних и контрольных процессах при изготовлении IC. Их надежный дизайн и чистота делают их идеальными для использования в Fabs, R & D Labs и OEM -оборудовании, требующем строгого протоколов контроля загрязнения.

ИндивидуальноПФА ПАЛЕРЫможет быть разработан для удовлетворения конкретных требований к автоматизации, включая роботизированную обработку, дорожки и вертикальный/горизонтальный транспорт. Перевозчики полностью совместимы со стандартным оборудованием для обработки пластин и инструментами для производства полупроводников.