Солнечная графитовая лодка PECVD

СемикорексСолнечные графитовые лодки PECVDизготовлены с высокой точностью из высокочистыхизостатический графит. Каждая лодочка из солнечного графита PECVD от Semicorex подвергается точной механической обработке, проверке размеров и испытаниям электрических характеристик, чтобы гарантировать стабильную работу в среде высокотемпературной плазмы.

Во время обработки PECVD солнечная графитовая лодочка PECVD переносит кремниевые пластины в реакционную камеру PECVD и служит электродом, подключенным к источнику радиочастотного питания. При подаче переменного напряжения между соседними пластинами лодки создается электрическое поле. Под воздействием электрического поля химически активные газы (такие как силан SiH₄ и аммиак NH₃) подвергаются тлеющему разряду и генерируют плазму. Ионы и свободные радикалы в плазме разлагают газы-прекурсоры, образуя ионы кремния (Si) и азота (N). Эти ионы объединяются, образуя молекулы нитрида кремния (Si₃N₄), которые затем осаждаются на поверхности кремниевой пластины, образуя тонкие пленки.

1. Исключительная термическая стабильность.

Имея коэффициент теплового расширения, близкий к коэффициенту теплового расширения кремниевых пластин, SemicorxСолнечная графитовая лодка PECVDпретерпевает незначительные изменения размеров при нагреве, что позволяет надежно избежать повреждения пластин, вызванного термическим напряжением.

2. Превосходная электро- и теплопроводность.

Солнечные графитовые лодочки Semicorex PECVD обладают превосходной электропроводностью, обеспечивая быструю проводимость радиочастотного тока и равномерное распределение электрического поля, что способствует стабильной генерации плазмы и равномерному осаждению кремниевых пластин. Кроме того, его превосходная теплопроводность способствует быстрому охлаждению и нагреву, повышая эффективность производства и одновременно предотвращая влияние локального перегрева на качество осаждения.

3. Высокая химическая стабильность.

Благодаря использованию материала премиум-класса, графитовая лодка Semicorex PECVD менее склонна к реакции с химически активными газами и плазмой. Эта характеристика существенно предотвращает неравномерность распределения электрического поля, вызванную коррозией, деформацией или осаждением примесей в графитовой лодочке, обеспечивая тем самым стабильность процесса осаждения и качество поверхности кремниевых пластин.

4. Выдающаяся механическая прочность.

Благодаря своей выдающейся механической прочности лодочка Semicorex PECVD с солнечным графитом может легко выдерживать вес больших объемов пластин. Они могут выдерживать механическое напряжение, возникающее во время погрузки и транспортировки, в течение длительного времени, не деформируясь и не ломаясь.

5. Отличная размерная стабильность.

Солнечная графитовая лодка Semicorex PECVD обеспечивает исключительную точность размеров всех компонентов благодаря прецизионной механической обработке. Он удерживает кремниевую пластину в фиксированном положении во время осаждения, что обеспечивает равномерность осаждения и совместимость с автоматизированным производством.