Нагреватель PBN

Получики пиролитического нитрида бора нагреватель PBN-это высокопроизводительный, высокопроизводительный нагревательный компонент, предназначенный для требовательных применений, где имеют важное значение ультрачистые, химически стабильные и термически эффективные материалы. Произведенный в рамках процесса химического осаждения пара (CVD), PBN демонстрирует исключительную теплопроводность, высокотемпературную сопротивление и выдающуюся химическую инертность, что делает его идеальным выбором для полупроводниковой обработки, роста кристаллов и вакуумных применений.

Нагреватель PBN-это нагреватель, который использует высокоизоляцию PBN в качестве субстрата и использует тепловое декомпозиция низкого давления химическое осаждение паров (CVD) для покрытия проводящего PG при низком давлении (ниже 10TOR) и высокой температуры. Основными компонентами этого составного нагревателя являются пиролитический нитрид бора (PBN) и пиролитический графит (PG). Из -за превосходной коррозионной устойчивости и высокотемпературной стойкости он в основном используется для полупроводникового нагрева подложки (используется в MBE, MOCVD, распылительном покрытии и т. Д.); Сверхпроводник подложка нагрева; Образец нагрева во время анализа образца; Нагрев образца электронного микроскопа; нагревание металла; Источник отопления металла и т. Д.

PBN инертный к коррозионным газам; имеет высокую чистоту (более 99,99%); не владеет и не реагирует с большинством расплавленных металлов (он имеет характеристики непревзойденной сковороды, а металл может использоваться на 100%); имеет хорошее высокотемпературное сопротивление (максимальная рабочая температура составляет 2000 ℃); хорошая плотность; Хорошее сопротивление теплового шока и другие превосходные свойства делают его идеальным материалом для подготовки композитных обогревателей PBN-PG. PG может быстро нагревать до 1600 ℃ (в инертной атмосфере и в вакууме) в нагревателе PBN. В то же время, в сочетании с хорошей теплопроводностью PBN, поверхность нагрева имеет хорошую тепловую однородность. Благодаря быстрому развитию связанных отраслей спрос на композитные обогреватели PBN-PG также быстро увеличился.

Нагреватели PBN могут быть изготовлены в различных формах и конфигурациях для удовлетворения конкретных требований к проектированию и интеграции. Типичные конструкции включают в себя плоские обогреватели, трубчатые обогреватели и нестандартные геометрии со встроенными или поверхностными элементами нагрева. Нагревательные элементы обычно изготавливаются из пиролитического графита (PG) и инкапсулируют в PBN, обеспечивая полностью герметичную, электрически изолирующую и термически эффективную структуру.