Электростатический патрон PBN

Свойства материалаПБНЭлектростатический патрон

Устойчивость к высоким температурам и диэлектрическая прочность

The ПБНЭлектростатический патрон известен своей исключительной устойчивостью к высоким температурам — характеристикой, которая имеет решающее значение в процессе производства полупроводников. Пиролитический нитрид бора (PBN), материал, используемый в конструкции патрона, демонстрирует более высокое удельное сопротивление, чем у наиболее часто используемой керамики, что имеет решающее значение для поддержания усилия Джонсена-Рахбека (JR) в патроне до температур 1050°C. Такое высокое удельное сопротивление в сочетании с высокой диэлектрической прочностью гарантирует эффективное предотвращение электрического пробоя даже при сильном нагреве, тем самым повышая эксплуатационную надежность патрона.

Термическая однородность и ударопрочность

Шестиугольная структура решетки PBN, полученная методом химического осаждения из паровой фазы при температуре выше 1500°C, способствует его превосходной термической однородности и ударопрочности. Нагревательные элементы высокой плотности внутриПБНЭлектростатический патрон позволяет добиться стабильного температурного профиля пластины с хорошей однородностью 1,1–1,5% при температурах 600–800°C. Кроме того, патрон на основе PBN демонстрирует замечательную стойкость к термическому удару и меньшую термическую массу, что позволяет ему достигать температуры 600°C при быстрой скорости изменения 23°C/сек без риска растрескивания или расслоения.

Настраиваемое многозонное отопление

Электростатический патрон PBN обладает широкими возможностями настройки и имеет возможность многозонного нагрева, что обеспечивает максимальный контроль температуры. Такой уровень настройки гарантирует, что каждый патрон может быть адаптирован в соответствии с конкретными требованиями отдельных клиентов, обеспечивая гибкое решение для различных приложений обработки полупроводников.

ПрименениеПБНЭлектростатический патрон

Ионная имплантация и работа с пластинами

Электростатический патрон PBN является предпочтительным устройством для работы с пластинами в процессах ионной имплантации. Его способность удерживать пластины при температуре, превышающей 1000°C, делает его одним из самых универсальных электростатических патронов на рынке. Эта универсальность еще более усиливается за счет способности поддерживать пластины в очень узких температурных диапазонах благодаря многозонным нагревательным элементам высокой плотности.

Ионная имплантация карбида кремния

В конкретном применении ионной имплантации SiCПБНЭлектростатический патрон предлагает эффективное решение проблем нагрева и обработки пластин. Его двойные функции, включающие высокое усилие зажима, высокую мощность нагрева, хорошую температурную однородность и быстрый отклик, делают его идеальным выбором для решения сложных задач ионной имплантации SiC.

Производство полупроводников

Электростатический патрон PBN играет решающую роль в производстве полупроводников, где важны точная обработка пластин и контроль температуры. Его высокая термостойкость и возможность быстрого повышения температуры делают его пригодным для передовых полупроводниковых процессов, требующих строгого управления температурой и быстрого термоциклирования.