PBN составные обогреватели

Semicorex PBN Композитные обогреватели объединяют превосходную теплопроводность пиролитического графита с химической инертностью и электрической изоляцией нитрида пиролитического бора. Эти обогреватели построены из графита с очень высокой чистотой и PBN, который применяется с использованием высококачественного процесса сердечно -сосудистых заболеваний (химическое осаждение пара) в условиях высокой чистоты. Каждый индивидуальный уровень выполнения был отложен с очень экстремальной управляемостью для обеспечения сверхвысокой чистоты и последовательных тепловых свойств. Графитовое ядро, которое обеспечивает быстрое и однородное нагревание повсюду, защищено от окисления и загрязнения капсулой PBN; Это делает обогреватель идеальным для вакуумной газовой среды и инертной газовой среды. Эти нагреватели PBN предназначены для использования в реакторах MBE (Epitaxy Molecular Beam), реакторах CVD и других системах роста кристаллов.

Композитный нагреватель нитрид-пиролитического графита пиролида-пиролитического графита (PBN-PG) представляет собой нагреватель, который использует высокосетенскую PBN в качестве субстрата и использует тепловое декомпозицию низкого давления (CVD) при низком давлении (ниже 10TOR) и высокую температуру для покрытия проводящего ПГ. Основными компонентами этого составного нагревателя являются пиролитический нитрид бора (PBN) и пиролитический графит (PG). Из -за превосходной коррозионной устойчивости и высокотемпературной стойкости он в основном используется для полупроводникового нагрева подложки (используется в MBE, MOCVD, распылительном покрытии и т. Д.); Сверхпроводник подложка нагрева; Образец нагрева во время анализа образцов; Нагрев образца электронного микроскопа; нагревание металла; Источник отопления металла и т. Д.

Нагреватели PBN могут выдерживать рабочие температуры до 1600 ° C в вакууме и иметь улучшенную способность выдерживать тепловой удар по любым альтернативам на основе металлов, на которые вы будете положиться. Поверхность нагревателя чрезвычайно гладкая и плотная и производит значительно меньше частиц во время работы, что имеет решающее значение для применений, когда загрязнение не может быть переносится, например, как обработка полупроводниковых пластин.

Композитная структура обеспечивает превосходную термообработку по всей поверхности нагревателя, и ее резистивные пути могут быть настроены для обеспечения индивидуального распределения тепла. Эта конструкция обеспечивает быстрые циклы наращивания и перезарядки во время обработки без растрескивания и расслоения из-за тех же коэффициентов теплового расширения в использованных материалах. Электроды способны выдерживать непрерывную работу высокого тока, а также совместимы в вакууме.

Semicorex обеспечивает неограниченную гибкость проектирования для уникальных форм, размеров и требований к мощности при необходимости, чтобы удовлетворить конкретные потребности в применении; Будь то для стандартных размеров пластин или более сложной геометрии, мы гарантируем точность размеров и термическую однородность в каждом произведении.

Композитные обогреватели PBN идеально подходят для ультрачистых приложений, в том числе:

• Системы MBE для обработки полупроводниковых переработков III-V и II-VI
• Вакуумные системы покрытия для оптических компонентов
• Системы роста кристаллов для сапфира и SIC
• Термическая обработка высокой чистоты для лабораторных исследований и разработчиков.