Карбид кремния находит широкое применение в развивающихся и традиционных отраслях. В настоящее время мировой рынок полупроводников превысил 100 миллиардов юаней. Ожидается, что к 2025 году мировые продажи материалов для производства полупроводников достигнут 39,5 миллиардов долларов США, из которых ......
Читать далееВ традиционном производстве кремниевых силовых устройств высокотемпературная диффузия и ионная имплантация являются основными методами контроля примесей, каждый из которых имеет свои преимущества и недостатки. Как правило, высокотемпературная диффузия характеризуется простотой, экономичностью, изотр......
Читать далееВ полупроводниковой промышленности эпитаксиальные слои играют решающую роль, образуя особые монокристаллические тонкие пленки на подложке пластины, известные под общим названием эпитаксиальные пластины. В частности, эпитаксиальные слои карбида кремния (SiC), выращенные на проводящих подложках SiC, п......
Читать далееЭпитаксиальный рост — это процесс выращивания кристаллографически упорядоченного монокристаллического слоя на подложке. Вообще говоря, эпитаксиальный рост предполагает выращивание кристаллического слоя на монокристаллической подложке, причем выращенный слой имеет ту же кристаллографическую ориентаци......
Читать далее