Структура электростатического патрона (ESC)

АнЭлектростатический патрон (ESC)Это устройство, используемое для удержания полупроводниковых пластин на месте во время таких процессов, как травление, осаждение или полировка. Он работает путем создания электростатического поля, которое притягивает и надежно удерживает пластину на поверхности патрона, обеспечивая стабильность и точное выравнивание во время обработки пластины. ЭСК широко используются в производстве полупроводников для повышения точности процесса и эффективности работы с пластинами.

Реальный образ обычногоэлектростатический патрон (ESC)изображено на рисунке. Основное различие между моделями заключается в материале изолирующего слоя на поверхности электростатического патрона. На рисунке темный цвет представляет собой нитрид алюминия, а белый цвет — оксид алюминия. Структураэлектростатический патронсостоит из нескольких частей:

1. **Изолирующий слой**: этот слой находится в контакте с пластиной, обычно изготовленной из керамики из нитрида алюминия или оксида алюминия благодаря их превосходной механической прочности, устойчивости к высоким температурам и хорошей теплопроводности.

2. **Выталкивающий штифт и отверстие для газа He**: Выталкивающий штифт предназначен для перемещения пластины. Когда пластина попадает в камеру травления, выталкивающий штифт поднимается, поддерживая ее, а затем опускается, помещая пластину на поверхность электростатического патрона. Выталкивающий штифт обычно имеет полую структуру, позволяющую вводить газообразный гелий для охлаждения пластины.

3. **Обратный канал потока гелия**: этот компонент улучшает рассеивание тепла и облегчает адсорбцию пластины.

4. **Электростатический электрод**. Этот электрод генерирует электрическое поле, которое создает электростатическую силу, необходимую для удержания пластины на месте. Обычно электрод является плоским и либо встроен в изоляционный материал, либо нанесен на него. Обычно используемые проводящие материалы включают алюминий, медь и вольфрам.

5. **Циркулирующая охлаждающая вода и нагревательный электрод**: Эти элементы в первую очередь отвечают за общий контроль температуры электростатического патрона. Нагревательный электрод и циркулирующая охлаждающая вода работают в тандеме, поддерживая стабильную температуру пластины. Использование исключительно циркулирующей охлаждающей воды может привести к неспособности управлять теплом, выделяемым в процессе травления, что потенциально может поставить под угрозу стабильность процесса.  

Semicorex предлагает высококачественныеЭлектростатический патрон (ESC). Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com