Что такое низкотемпературное плазменное травление?

Плазма — четвертое состояние материи, играющее решающую роль как в промышленности, так и в природных явлениях. Например, плазма присутствует в молниях и в больших количествах генерируется на поверхности Солнца, где температура ядра достигает поразительных 13 500°C. Эта высокотемпературная плазма не подходит для большинства промышленных производственных процессов.

С другой стороны, низкотемпературная плазма — это искусственно созданная форма плазмы, которая использует энергию, а не тепло для ускорения химических реакций. Его температура обычно колеблется от комнатной температуры до нескольких сотен градусов Цельсия, что делает его очень эффективным для различных применений.

Шаги по созданию искусственной плазмы:

1. Уменьшите давление в камере: начните с использования вакуумного насоса, чтобы снизить давление в полости. Достижение низкого давления необходимо для стабилизации плазмы и облегчения ионизации газа.

2. Введение технологического газа. Вводят в полость определенные технологические газы. Эти газы служат основным источником частиц в плазме.

3. Возбуждайте плазму: примените мощность для ионизации газа, эффективно формируя плазму.

4. Деактивируйте плазму и восстановите атмосферное давление. После завершения желаемых реакций выключите плазму и верните камеру к атмосферному давлению.

Применение низкотемпературной плазмы в производстве полупроводников:

Низкотемпературная плазма незаменима в производстве полупроводников, выполняя критически важные функции при сухом травлении, физическом осаждении из паровой фазы (PVD), химическом осаждении из паровой фазы (CVD), атомно-слоевом осаждении (ALD), ионной имплантации, озолении и обнаружении конечной точки. Его универсальность и эффективность делают его фундаментальным инструментом в отрасли.

Семикорекс предлагаеткачественные решения для плазменного травления. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com