Пористый графит для выращивания кристаллов SiC

В настоящее время большинство производителей подложек SiC используют новую технологию термического поля тигля с цилиндрами из пористого графита: размещение исходных материалов с частицами SiC высокой чистоты между стенкой графитового тигля и цилиндром из пористого графита при одновременном углублении всего тигля и увеличении диаметра тигля. Преимущество заключается в том, что при увеличении объема загрузки увеличивается и площадь испарения сырья. Новый процесс решает проблему дефектов кристаллов, вызванных перекристаллизацией верхней части сырья по мере роста на поверхности исходного материала, что влияет на поток сублимации материала. Новый процесс также снижает чувствительность распределения температуры в зоне сырья к росту кристаллов, улучшает и стабилизирует эффективность массообмена, снижает влияние углеродных включений на более поздних стадиях роста и дополнительно улучшает качество кристаллов SiC. В новом процессе также используется метод фиксации опоры кристалла без затравки, который не прилипает к затравочному кристаллу, что обеспечивает свободное тепловое расширение и способствует снятию напряжений. Этот новый процесс оптимизирует тепловое поле и значительно повышает эффективность расширения диаметра.

Качество и выход монокристаллов SiC, полученных с помощью этого нового процесса, сильно зависят от физических свойств тигельного и пористого графита. Острый спрос на пористый графит с высокими эксплуатационными характеристиками не только делает пористый графит чрезвычайно дорогим, но и вызывает серьезный дефицит на рынке.

Основные требования к производительностипористый графит

(1) Соответствующее распределение пор по размерам;

(2) Достаточно высокая пористость;

(3) Механическая прочность, соответствующая требованиям обработки и использования.

Semicorex предлагает высококачественныепористый графитчасти. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com