Что такое лодка из карбида кремния и каковы различные процессы ее производства?

1. Различные производственные процессыSiC Лодка

(1) Нанесение слояSiC-пленкана поверхности графитахрустальные лодкичерез ССЗ

Лодки этого типа имеют графитовый сердечник, выточенный как единое целое. Однако,графит пористыйи склонен к образованию частиц, что требует примененияпленочное покрытие SiCна его поверхности. Из-за несоответствия коэффициента теплового расширения (КТР) между графитовым корпусом иSiC-пленка, покрытие может отслоиться после нескольких циклов нагрева и охлаждения, что приведет к загрязнению частицами. Эти лодки самые дешевые и имеют срок службы около года.

(2) Нанесение слояSiC-пленкана рекристаллизованномЛодочки из кристалла SiC

РекристаллизованныйSiC лодкитакже пористые и могут легко образовывать частицы. Поэтому отдельные компоненты рекристаллизованногоSiC лодкидолжны быть предварительно сформированы, спечены, а затем обработаны отдельно. После этого компоненты соединяются вместе при высоких температурах с помощью Si-пасты. Собранный в единую лодку,SiC-пленкаприменяется через CVD. Это перекристаллизовывалосьSiC лодкаимеет самый длительный производственный процесс и является дорогостоящим, но поверхностьCVD-покрытиетакже может быть поврежден, срок службы составляет около трех лет.

(3)МонолитныйЛодочки из кристалла SiC

Этилодкиполностью состоят из материала SiC. Порошок SiC необходимо сформовать и спекать в форме монолитной лодочки. Чрезвычайно дорогие, они очень долговечны и с меньшей вероятностью образуют частицы. Однако эти лодки содержат 10-15% свободного кремния, который подвержен эрозии под действием фтора и хлора, что приводит к загрязнению частицами.

2. Почему химчистка не рекомендуется?

Подводя итог, дляSiC лодкипокрытыйПленка SiC через CVD, поверхностное покрытие склонно к отслаиванию во время химической чистки, что приводит к загрязнению частицами. Для монолитногоSiC лодкисодержащих небольшое количество свободного кремния, воздействие газов, содержащих фтор или хлор, может привести к эрозии и образованию частиц, вызывая тем самым загрязнение.**