Покрытие TaC методом CVD

Покрытие из карбида тантала — важный высокопрочный, коррозионно-стойкий и химически стабильный высокотемпературный конструкционный материал с температурой плавления до 4273 °С, одно из немногих соединений с наиболее высокой термостойкостью. Он обладает превосходными механическими свойствами при высоких температурах, устойчивостью к истиранию высокоскоростным потоком воздуха, стойкостью к абляции и хорошей химической и механической совместимостью с графитом и углеродно-углеродными композитами. Таким образом, в эпитаксиальном процессе GaN-светодиодов и силовых устройств SiC, таких как MOCVD, покрытие TaC обладает превосходной устойчивостью к кислотам и щелочам к H2, HCl, NH3, что может полностью защитить материал графитовой подложки и очистить среду роста.

Покрытие TaC остается стабильным при температуре выше 2000 °C, тогда как покрытие SiC начинает разлагаться при 1200–1400 °C, что также значительно улучшит целостность графитовой подложки. Покрытия из карбида тантала в настоящее время изготавливаются на графитовых подложках в основном методом CVD, а производственные мощности покрытий TaC будут дополнительно расширены для удовлетворения спроса на силовые устройства SiC и эпитаксиальные устройства GaNLED.

Система химических реакций, используемая для нанесения покрытий из карбида тантала на углеродные материалы методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), представляет собой TaCl5, C3H6, H2 и Ar, где Ar используется в качестве разбавляющего и несущего газа.

Покрытия из карбида тантала играют ключевую роль в процессе эпитаксии GaN-светодиодов и силовых устройств SiC с использованием MOCVD. Передовые материалы защищают жизненно важные компоненты, обеспечивая их долговечность и работоспособность в суровых условиях, связанных с высокотемпературным производством полупроводников.

Поскольку спрос на силовые устройства SiC и светодиоды GaN продолжает расти, производственные мощности покрытий из карбида тантала будут расширяться. Производители готовы удовлетворить растущие потребности этих отраслей, способствуя развитию высокотемпературных технологий.

В заключение,покрытия из карбида танталапредставляют собой невероятный технологический скачок в обеспечении долговечности и надежности материалов в условиях высоких температур. Продолжая производить революцию в секторах полупроводников и силовой электроники, эти покрытия подчеркивают их статус важнейшего элемента современных высоких технологий.