Внутренняя направляющая трубка

Внутренняя направляющая трубка Semicorex представляет собой прецизионную конструкцию.углерод/углеродный (C/C) компонентРазработан для передовых применений в высокотемпературных термических полях, особенно при выращивании кристаллов кремния высокой чистоты. Являясь важнейшим элементом в печах для выращивания кристаллов, этот компонент играет центральную роль в формировании и стабилизации температурного градиента, обеспечивая оптимальное образование кристаллов и стабильное качество материала.

Внутренняя направляющая трубка, изготовленная из углеродного композита высокой плотности, армированного углеродным волокном, обеспечивает исключительную структурную целостность и термическую стабильность в экстремальных условиях. При плотности ≥1,35 г/см³ и прочности на изгиб ≥110 МПа он сохраняет механическую прочность даже при длительном воздействии повышенных температур. Эти свойства необходимы при производстве полупроводникового кремния, где даже незначительные колебания температурных условий могут существенно повлиять на однородность кристалла и уровень дефектов.

Основная функциональность: точный контроль градиента

Основная роль внутренней направляющей трубки C/C заключается в создании точного градиентного температурного поля. В процессе выращивания кристаллов кремния его размещают непосредственно над расплавом, чтобы:

Прямой поток газа: направляет поток инертного газа аргона, обеспечивая эффективное удаление паров оксида кремния (SiO) с поверхности расплава, предотвращая загрязнение кристалла кислородом.

Тепловая защита: защищает растущий кристалл от прямого теплового излучения стенок тигля, создавая крутой осевой градиент температуры, необходимый для высокоскоростного и высококачественного вытягивания кристаллов.

Энергоэффективность: за счет концентрации тепла в зоне плавления и изоляции верхних компонентов печи значительно снижается общее энергопотребление.

Технические характеристики и качество материалов

Наши внутренние направляющие трубки изготавливаются с использованием высокоплотных материалов.Углерод/Углеродные композиты, обеспечивая превосходную альтернативу традиционному графиту. Свойства материала оптимизированы для экстремальных условий полупроводниковых вакуумных печей:

Плотность: ≥ 1,35 г/см³

Прочность на изгиб: ≥ 110 МПа

Коэффициент теплового расширения (КТР): ≤ 1,0 × 10⁻⁶/К

Теплопроводность (комнатная температура): ≤ 10 Вт/(м·К)

Промышленность

По мере того, как отрасль движется к более крупным размерам пластин (300 мм и 450 мм), требования к тепловому полю растут экспоненциально. Наши внутренние направляющие трубы совместимы с печами CZ основных марок и могут быть изготовлены по индивидуальному заказу с точки зрения геометрии и покрытия.