Горизонтальная кассета вафель

Свойства материала

Горизонтальная кассета для пластин Semicorex — это жизненно важный инструмент в полупроводниковой промышленности для защиты пластин и обращения с ними на различных этапах производства. Эти кассеты, которые часто называют носителями пластин, предназначены для хранения и перемещения нескольких пластин одинакового размера. Они обеспечивают превосходную производительность в различных производственных условиях, отвечая конкретным технологическим требованиям, таким как термическая обработка, и доступны в широком диапазоне материалов.

Различные варианты материалов

Горизонтальные пластинчатые кассеты изготавливаются из различных высокопроизводительных материалов, отвечающих разнообразным требованиям производства полупроводников. Они обеспечивают исключительную химическую стойкость и термическую стабильность и включают PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon и PTFE Teflon. Варианты из нержавеющей стали, такие как 304L и 316, рекомендуются для применений, требующих повышенной механической прочности и устойчивости к коррозии. Натуральный полипропилен также используется из-за его экономичности и легкости, которые обеспечивают гибкость в применении, сохраняя при этом целостность процедуры обработки пластин.

Особенности расширенного дизайна

Горизонтальные кассеты с пластинами, характеристики которых можно регулировать в соответствии с определенными эксплуатационными требованиями, тщательно изготавливаются. К ним относятся профили боковых отверстий, точки контакта с подложкой, шаг и расстояние между подложками, а также размеры и формы, которые можно изменить. Их адаптируемость к различным процессам повышается за счет универсальности ориентации подложек и способности работать с подложками различных размеров. Кроме того, к этим кассетам могут быть добавлены функции автоматизации и возможности работы с кассетами, такие как съемные ручки для повышения удобства.

Приложения

В производстве полупроводников использование горизонтальных кассет с пластинами имеет важное значение для обеспечения безопасного и эффективного обращения с пластинами в различных процедурах.

Горизонтальные пластинчатые кассеты изготовлены из прочных высококачественных материалов и обеспечивают надежную защиту от физических повреждений и загрязнений — двух основных проблем в области полупроводников. Конструкция кассет защищает хрупкие пластины во время хранения и транспортировки, уменьшая воздействие любых загрязнений.

Улучшенная очистка и сушка

Лучшие результаты стирки и сушки достигаются благодаря огромной площади открывания в конструкции горизонтальных кассет для пластин. Эта характеристика имеет решающее значение для сохранения чистоты пластин, что снижает вероятность появления дефектов и повышает качество готовых полупроводниковых приборов.

Эффективность химического потока и обработки

Чтобы свести к минимуму места захвата материала и максимизировать динамику протекания химикатов, разработаны горизонтальные кассеты с пластинами. Чтобы улучшить поток химикатов и гарантировать полное покрытие и эффективную обработку в химических ваннах, можно добавить ряд дополнительных функций.

Безопасная транспортировка и выравнивание пластин

Конструкция горизонтальной кассеты для вафель отличается точным выравниванием пластин, что гарантирует их надежную фиксацию во время транспортировки. Это снижает вероятность поломки или смещения, что может привести к дорогостоящим дефектам или задержкам в процессе. Обращение с пластинами должно осуществляться безопасно, чтобы сохранить целостность процесса производства полупроводников.

Эффективность рабочего процесса и эргономика

Горизонтальные кассеты с вафельными пластинами просты в использовании и эффективны благодаря своему эргономичному дизайну, который упрощает процедуру загрузки и выгрузки. В условиях чистых помещений такая простота использования повышает эффективность рабочего процесса, обеспечивая более эффективные процессы и сокращая время обработки. Производители полупроводников могут повысить эффективность и соблюдать строгие стандарты чистоты, упростив эти процедуры.