Графитовый нагреватель для горячей зоны

Графитовый нагреватель Semicorex для горячей зоны, предназначенный для надежной работы в высокотемпературных печах, спроектирован так, чтобы выдерживать сложные условия, присущие таким процессам, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), эпитаксия и высокотемпературный отжиг. Мы в Semicorex занимаемся производством и поставкой высокопроизводительных графитовых нагревателей для горячих зон, которые сочетают качество с экономической эффективностью.**

Отправить запрос

Описание продукта

Равномерное распределение температуры:Графитовый нагреватель для горячей зоны известен своими равномерными характеристиками нагрева, достигаемыми за счет сочетания тщательной обработки материала и прецизионной механической обработки. Эта однородность обеспечивает постоянный температурный профиль по всей поверхности нагрева, сводя к минимуму температурные градиенты, которые могут привести к неравномерной обработке пластин, снижению выхода продукции и нестабильной производительности устройства.

Исключительная устойчивость к коррозии:Графитовый нагреватель для горячей зоны демонстрирует замечательную устойчивость к множеству агрессивных газов и химикатов, обычно встречающихся при высокотемпературной обработке полупроводников. Эта присущая ему инертность обеспечивает долговременную стабильность и производительность нагревателя, сводя к минимуму риски загрязнения и продлевая срок службы.

Превосходная стойкость к окислению:В отличие от обычного графита, графитовый нагреватель для горячей зоны обладает превосходной стойкостью к окислению даже при повышенных температурах. Эта характеристика имеет решающее значение для поддержания целостности нагревателя и предотвращения образования твердых частиц внутри рабочей камеры.

Сверхвысокая химическая чистота:Графитовый нагреватель для горячей зоны обработан для достижения сверхвысокого уровня чистоты, что сводит к минимуму риск попадания нежелательных загрязнений в среду обработки полупроводников. Эта исключительная чистота необходима для сохранения целостности деликатных полупроводниковых материалов и обеспечения желаемых электрических и оптических свойств изготовленных устройств.

Высокая механическая прочность и стабильность:Графитовый нагреватель для горячей зоны обладает великолепной механической прочностью и стабильностью размеров при повышенных температурах, что позволяет изготавливать прочные компоненты нагревателя, способные выдерживать суровые условия высокотемпературной эксплуатации, включая термоциклирование и механические нагрузки.