Графитовый электрод

Графитовый электрод Semicorex — это высокочистый, прецизионно изготовленный графитовый компонент для использования в полупроводниковых термических устройствах, где электропроводность, термическая стабильность и точность размеров имеют первостепенное значение. Фактически, электроды этого типа используются в высокотемпературных печах, реакторах эпитаксии и камерах термической обработки, обеспечивая стабильную проводимость тока, теплопередачу и стабильность в агрессивных условиях температуры и атмосферы. Благодаря исключительной чистоте, однородности твердой структуры и высоким механическим свойствам графитовых электродов Semicorex они могут обеспечивать надежные тепловые характеристики в качестве нагревательных элементов в требовательных полупроводниковых приложениях.

Графитовый электрод изготовлен из высококачественного мелкозернистого графитового материала, каждый из которых изготовлен с использованием усовершенствованной последовательности экструзии, высокотемпературной карбонизации и графитизации. Микроструктура графита рассчитана на примерно постоянное электрическое сопротивление, высокую теплопроводность и механическую стабильность. Конечный продукт представляет собой теплопроводник высокой чистоты, который сохраняет физическое состояние и равномерное распределение тока в условиях высокой мощности, а также при быстрых колебаниях температуры.

Ультра производительность в нашемграфит

Наш графит гарантирует превосходную однородность производительности. Во-первых, в процессе карбонизации в наших печах всего 115 кубов. Наша техническая группа контролирует температурное поле графитовых изделий в разных зонах каждой печи. На начальном низкотемпературном этапе (0-200°С) контролируем температуру в пределах ±10°С, а при высоких температурах (выше 600°С) в пределах ±1°С. Мы отслеживаем не только температурное поле между различными частицами графита, но также поверхностную и внутреннюю температуру каждого отдельного кусочка графита, контролируя ее в пределах ±3°C. Мы контролируем 8 температурных точек в каждой печи карбонизации.

Во-вторых, в процессе графитации, на примере партии 500 кг, мы также контролируем 8 температурных точек. После графитизации мы случайным образом отбираем образцы и подвергаем разрушительному тестированию 24 точки по осям X, Y и Z, чтобы обеспечить однородность. Большинство компаний в отрасли тестируют только ось X или, самое большее, ось XY, при этом типичные производители тестируют только 6-8 точек, а лучшие — 12 точек. Тестируем 24 точки.

В тепловом поле полупроводников графитовый электрод является важной частью нагревательного узла, направляя электрический ток в зону нагрева и позволяя контролировать распределение температуры в конкретном процессе, таком как окисление, диффузия, LPCVD или эпитаксия. Графитовый электрод должен надежно работать при температурах, превышающих 2000°C, и при этом противостоять окислению, деформации или загрязнению места нагрева.

Графитовые электроды Semicorex обладают превосходной электропроводностью, что обеспечивает эффективную подачу энергии с минимальными потерями, а также превосходной теплопроводностью, обеспечивающей быструю и равномерную передачу тепла в печи. Сочетание низкого теплового расширения и высокой механической прочности снижает деформацию и растрескивание во время термоциклирования, обеспечивая стабильное поведение в течение длительного срока службы. Каждый электрод обработан с соблюдением строгих допусков на размеры и имеет чистовую обработку поверхности, чтобы обеспечить постоянный контакт и незначительное электрическое сопротивление на контактной поверхности.

Behandelingstemperatuur

Высокая чистотаграфитовый материалслужит для обеспечения невероятно низкого уровня содержания металлических примесей (и газообразных примесей), часто более 99,999% углерода. Столь низкий уровень примесей помогает избежать загрязнения полупроводниковых пластин во время термической обработки. В сочетании со значительной глубиной обработки и полированной поверхностью графитовые электроды Semicorex соответствуют как механической, так и химической стабильности современных технологий изготовления пластин.

Независимо от того, используется ли графитовый электрод Semicorex в диффузионных печах, эпитаксиальных реакторах или высокотемпературном технологическом оборудовании, он обеспечивает непревзойденную производительность в самых сложных термических условиях. Сочетая высокую чистоту, точную геометрию и передовую обработку материалов, Semicorex предлагает электродное решение, которое обеспечивает стабильную проводимость тока, постоянный нагрев и долгосрочную эксплуатационную надежность, необходимую для производства полупроводников следующего поколения.