Графитовые крестообразные

Получики графитовые крестики являются критическими компонентами в процессе производства полупроводников, особенно на стадии роста кристаллов. Эти высокопроизводительные контейнеры спроектированы для выдержания экстремальных условий, необходимых для получения кристаллов кремния или соединений в кремниевых или соединения с помощью таких методов, как процесс Чокральски (CZ) или метод зоны поплавки (FZ).

Основной функцией графитовых крестообразных является противостояние и поддержание чрезвычайно высоких температур, обычно выше 2000 ° C, где часто синтезируются полупроводниковые материалы третьего поколения, такие как карбид кремния и нитрид галлия. Пограбия, изготовленные из графита высокой чистоты, демонстрируют превосходную устойчивость к высоким температурам, поддерживающим их физические и химические состояния на таких крайних уровнях без какой-либо формы разложения или даже метаморфозы. Хорошая теплопровода графитовыми притяжениями означает, что они не только будут проводить тепло равномерно, но и настраивать стабильное температурное поле. Это входит в решающую роль в процессах плавления и кристаллизации, поскольку равномерное распределение температуры позволит привести к росту материала в более или менее эквивалентных условиях, что снижает дефекты кристаллических дефектов и позволяет качественно качественные полупроводниковые кристаллы.

В процессах роста кристаллов из карбида или нитрида галлия (такие как эпитакси -сердечно -сосудистые заболевания пара -фаза или физический пары PVT), графитовые тигны используются для удержания сырья и обеспечения контролируемой среды роста. Химическая инертность тигера гарантирует, что он не реагирует с полупроводниковым материалом при высоких температурах, поддерживая тем самым высокую чистоту материала. В то же время хорошая теплопроводность графитового тигара помогает сформировать равномерный градиент температуры, обеспечивая идеальные условия для роста кристаллов и снижения примесей и структурных дефектов.

Химическая инертность графитовых крестообразных является ключевой особенностью очистки полупроводниковых материалов. Его высокая чистота графитовой материал может изолировать внешнее загрязнение и предотвратить вступление примесей в расплавленное полупроводниковое материал. Поверхность графитового тигра также может быть покрыта (например, кремниевое карбидовое покрытие) для повышения устойчивости к окислению и коррозионной устойчивости, что еще больше обеспечивает высокую чистоту и высокую стабильность производственного процесса.