Кольцо из плавленого кварца

Применение кольца из плавленого кварца Semicorex в травлении полупроводников

Процесс травления полупроводников является важным этапом в производстве полупроводниковых приборов. Во время травления определенные участки пластины выборочно удаляются, создавая сложные узоры. Для этого процесса требуются материалы, способные выдерживать экстремальные условия и обеспечивать стабильную производительность. Кольцо из плавленого кварца разработано с учетом этих строгих требований, гарантируя точность, эффективность и надежность процесса травления.

Преимущества кольца Semicorex из плавленого кварца

1. Исключительная чистота

Чистота SiO2 в кольце из плавленого кварца является одним из его наиболее значительных преимуществ. Благодаря степени чистоты от 99,995% до 99,999% кольцо из плавленого кварца обеспечивает минимальное загрязнение и высококачественные результаты травления. Такая высокая чистота имеет решающее значение в производстве полупроводников, где даже мельчайшие примеси могут повлиять на производительность и надежность конечного продукта.

2. Превосходная термическая стабильность

Кольцо из плавленого кварца выдерживает экстремальные температуры: рабочая температура до 1250°C и температура размягчения 1730°C. Такая высокая термическая стабильность позволяет кольцу из плавленого кварца сохранять свою структурную целостность и работоспособность в условиях интенсивного нагрева, обычно встречающихся в процессе травления.

3. Низкий коэффициент расширения.

Чрезвычайно низкий коэффициент расширения кольца из плавленого кварца делает его очень устойчивым к тепловому удару. Это свойство имеет решающее значение в процессе травления, где могут происходить быстрые изменения температуры. Низкий коэффициент расширения гарантирует, что кольцо из плавленого кварца остается стабильным и надежным, снижая риск растрескивания и других проблем, связанных с термическим напряжением.

4. Химическая стойкость

Кольцо из плавленого кварца обладает превосходной устойчивостью к кислотам и щелочам. Эта химическая стойкость гарантирует, что кольцо из плавленого кварца выдержит суровые условия процесса травления, сохраняя свои характеристики и долговечность в течение длительного периода времени.

5. Без микропузырьков и с низким содержанием гидроксила.

Отсутствие микропузырьков и низкое содержание гидроксилов в кольце из плавленого кварца гарантируют стабильную и надежную работу. Микропузырьки и высокое содержание гидроксилов могут привести к дефектам и загрязнению в процессе травления, влияя на качество и надежность конечного продукта.

6. Низкая теплопроводность и диэлектрическая проницаемость.

Кольцо из плавленого кварца имеет очень низкую теплопроводность и диэлектрическую проницаемость, а также самый низкий тангенс потерь практически из всех известных материалов. Низкая теплопроводность помогает эффективно рассеивать тепло, снижая риск термического повреждения пластины. Низкая диэлектрическая проницаемость и тангенс потерь гарантируют, что наши кварцевые кольца обеспечивают отличную электрическую изоляцию, снижая риск электрических помех и повышая общую эффективность процесса травления.