Пьедестал из плавленого кварца

При производстве полупроводников подставка из плавленого кварца служит опорной конструкцией для кварцевой лодочки, в которой удерживаются пластины. Поддерживая постоянную температуру, он помогает добиться равномерного осаждения тонких пленок, что является критическим фактором для производительности и надежности полупроводниковых устройств. Подставка обеспечивает равномерное распределение тепла и света внутри технологической камеры, тем самым повышая общее качество процесса осаждения.

Преимущества плавленого кварцевого материала

1. Высокая термостойкость

Пьедестал из плавленого кварца имеет температуру размягчения около 1730°C, что позволяет ему выдерживать длительное использование при температурах от 1100°C до 1250°C. Более того, он может выдерживать кратковременное воздействие температур до 1450°C.

2. Коррозионная стойкость

Пьедестал из плавленого кварца химически инертен к большинству кислот, за исключением плавиковой кислоты. Его кислотостойкость превосходит керамику в 30 раз, а нержавеющую сталь – в 150 раз. При повышенных температурах ни один другой материал не может сравниться по химической стабильности с плавленым кварцем, что делает его идеальным выбором для суровых химических сред.

3. Термическая стабильность

Одной из выдающихся особенностей постамента из плавленого кварца является его минимальный коэффициент теплового расширения. Это свойство позволяет ему выдерживать серьезные температурные перепады, не растрескиваясь. Например, его можно быстро нагреть до 1100°C, а затем погрузить в воду комнатной температуры без каких-либо повреждений — важная характеристика для производственных процессов с высокими нагрузками.

Производственный процесс

Процесс производства пьедестала из плавленого кварца тщательно контролируется, чтобы обеспечить высочайшие стандарты качества. Опоры производятся посредством термоформования и сварки в чистых помещениях класса 10 000 или выше. Последующая очистка сверхчистой водой (18 МОм)дополнительно обеспечивает чистоту и производительность продукта. Каждая подставка из плавленого кварца проходит тщательную проверку, очистку и упаковку в чистом помещении класса 1000 или выше, чтобы соответствовать строгим требованиям производства полупроводников.

Непрозрачный кварцевый материал высокой чистоты

Чтобы эффективно блокировать тепло и свет, в пьедестале из плавленого кварца используется непрозрачный кварцевый материал высокой чистоты. Уникальные свойства этого материала повышают способность подставки поддерживать стабильную и равномерную температуру внутри технологической камеры, тем самым обеспечивая стабильное качество осаждения тонких пленок на пластины.

Широкий спектр применения

Исключительные свойства пьедестала из плавленого кварца делают его пригодным для различных применений в полупроводниковой промышленности. В процессах ALD он поддерживает точный контроль роста тонких пленок на атомном уровне, что необходимо для производства современных полупроводниковых устройств. Во время процессов LPCVD термическая стабильность и светоблокирующие свойства подставки способствуют равномерному нанесению пленки, улучшая производительность и производительность устройства.

В диффузионных процессах устойчивость к высоким температурам и химическая инертность пьедестала из плавленого кварца обеспечивают надежное и стабильное легирование полупроводниковых материалов. Эти процессы имеют решающее значение для определения электрических свойств полупроводниковых устройств, а использование высококачественных материалов, таких как плавленый кварц, имеет важное значение для достижения оптимальных результатов.