Электростатический патрон

Электростатический патрон Semicorex, использующий глиноземную керамику высокой чистоты, обеспечивает первоклассную производительность в условиях, где приоритетом являются точность, стабильность и чистота. Глинозем, также известный как оксид алюминия (Al2O3), представляет собой керамический материал, известный своими исключительными электроизоляционными свойствами, высокой теплопроводностью и исключительной механической прочностью. Эти свойства делают его идеальным материалом для изготовления электростатических патронов, предназначенных для работы в сложных условиях обработки полупроводников. ЭСК из оксида алюминия спроектирован так, чтобы выдерживать высокие температуры, агрессивные среды и механические нагрузки во время манипуляций и обработки пластин, играя решающую роль в обеспечении производительности и качества полупроводниковых устройств.

Основным принципом электростатического патрона является электростатическая сила, используемая для надежного удержания пластины на месте. Эта сила создается путем подачи напряжения на электроды, встроенные в керамический материал. Взаимодействие между электростатическим полем и индуцированными зарядами на поверхности пластины создает сильную силу зажима, которая удерживает пластину на поверхности патрона. Конструкция ЭСК из оксида алюминия обеспечивает равномерное распределение прижимной силы по пластине, сводя к минимуму риск соскальзывания или повреждения во время обработки.

Одним из ключевых преимуществ использования глиноземной керамики в конструкции электростатических патронов являются ее исключительные электроизоляционные свойства. Высокая диэлектрическая прочность оксида алюминия позволяет применять высокие напряжения без риска электрического пробоя, что имеет решающее значение для поддержания целостности электростатического поля. Это особенно важно в таких процессах, как плазменное травление или химическое осаждение из паровой фазы, где пластина подвергается воздействию высокореактивной среды и любое изменение силы зажима может привести к дефектам или повреждению пластины.

В дополнение к своим электрическим свойствам глиноземная керамика демонстрирует превосходную теплопроводность, необходимую для управления теплом, выделяемым во время обработки полупроводников. Способность электростатического патрона эффективно рассеивать тепло помогает поддерживать стабильную температуру по всей пластине, уменьшая температурные градиенты, которые могут привести к деформации или другим формам термического напряжения. Эта термическая стабильность имеет решающее значение для обеспечения точности и повторяемости таких процессов, как фотолитография, где даже небольшие отклонения температуры могут повлиять на результат.