Вакуумная печь CVD и CVI

Semicorex является крупным производителем и поставщиком продукции с покрытием из карбида кремния в Китае. Мы предлагаем индивидуальные решения для печей. Наши вакуумные печи CVD и CVI имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают многие рынки Европы и Америки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.

Отправить запрос

Описание продукта

Вакуумная печь Semicorex CVD и CVI — это высококачественный инструмент, предназначенный для процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD). Температура реакции до 2200°С. Он способен наносить широкий спектр материалов, включая карбид кремния, нитрид бора, графен и другие. Печь CVD имеет прочную конструкцию и изготовлена из высококачественных материалов, что обеспечивает надежность и долговечность при длительном использовании. Он имеет как горизонтальную, так и вертикальную структуру.

Приложение:C/C композитный тормозной диск, тигель, пресс-форма и т. д.

Особенности вакуумных печей Semicorex CVD и CVI

1. Прочная конструкция из высококачественных материалов для длительного использования;

2.Точно контролируемая подача газа за счет использования регуляторов массового расхода и высококачественных клапанов;

3. Оснащен функциями безопасности, такими как защита от перегрева и обнаружение утечки газа для безопасной и надежной работы;

4. Использование нескольких зон контроля температуры, отличная однородность температуры;

5. Специально разработанная камера осаждения с хорошим уплотняющим эффектом и отличными характеристиками защиты от загрязнения;

6. Использование нескольких каналов осаждения с равномерным потоком газа, без мертвых углов осаждения и идеальной поверхности осаждения;

7. Он очищает смолу, твердую пыль и органические газы в процессе осаждения.

Дополнительные функции:

• Дверца печи: винтовой/гидравлический/ручной тип подъема; распашное/параллельное открытие (большого размера).

дверца печи); затяжка вручную/автоматическая затяжка стопорного кольца

• Корпус печи: полностью из углеродистой стали/внутренний слой из нержавеющей стали/полностью из нержавеющей стали.

• Горячая зона печи: мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок/CFC.

•Нагревательный элемент и муфель: графит изостатического прессования/графит высокой чистоты, прочности и плотности/мелкозернистый графит.

• Система технологического газа: объемный/массовый расходомер.

• Термопара: тип K/тип N/тип C/тип S

Технические характеристики печи CVD
Модель	Размер рабочей зоны (Ш × В × Д), мм	Макс. Температура (°С)	Температура Однородность (°С)	Предельный вакуум (Па)	Скорость увеличения давления (Па/ч)
ЛФХ-6900-С	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
ЛФХ-1220-С	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФХ-1530-С	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФХ-2535-С	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
ЛФВ-D3050-С	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
ЛФВ-D6080-С	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
ЛФВ-D8120-С	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
ЛФВ-Д11-С	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФВ-Д26-С	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Вышеуказанные параметры могут быть скорректированы в соответствии с требованиями процесса, они не являются стандартом приемки, подробной спецификацией. будет указано в техническом предложении и договорах.