Вакуумная печь CVD и CVI

Semicorex является крупным производителем и поставщиком продукции с покрытием из карбида кремния в Китае. Мы предлагаем индивидуальные решения для печей. Наши вакуумные печи CVD и CVI имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.

Отправить запрос

Описание продукта

Вакуумная печь Semicorex CVD и CVI — это высококачественный инструмент, разработанный для процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD). Температура реакции до 2200°С. Он способен наносить широкий спектр материалов, включая карбид кремния, нитрид бора, графен и другие. Печь CVD имеет прочную конструкцию и изготовлена из высококачественных материалов, обеспечивающих надежность и долговечность при длительном использовании. Он имеет как горизонтальную, так и вертикальную структуру.

Приложение:Композитный тормозной диск C/C, тигель, пресс-форма и т. д.

Характеристики вакуумных печей Semicorex CVD и CVI

1. Прочная конструкция из высококачественных материалов для длительного использования;

2. Точно контролируемая подача газа за счет использования регуляторов массового расхода и высококачественных клапанов;

3. Оснащен функциями безопасности, такими как защита от перегрева и обнаружение утечки газа для безопасной и надежной работы;

4. Использование нескольких зон контроля температуры, отличная однородность температуры;

5. Специально разработанная камера осаждения с хорошим эффектом герметизации и отличными характеристиками защиты от загрязнения;

6. Использование нескольких каналов осаждения с равномерным потоком газа, без мертвых углов осаждения и идеальной поверхностью осаждения;

7. Он очищается от смолы, твердой пыли и органических газов в процессе осаждения.

Дополнительные возможности:

â¢Дверца печи: винтовой/гидравлический/ручной подъем; распашной/параллельный (большой размер).

дверца печи); ручная затяжка / автоматическая затяжка стопорным кольцом

â¢ Корпус печи: полностью из углеродистой стали/внутренний слой из нержавеющей стали/полностью из нержавеющей стали

¢Горячая зона печи: мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок/ХФУ

â¢Нагревательный элемент и муфель: изостатический пресс-графит/графит высокой чистоты, прочности и плотности/мелкозернистый графит

• Система технологического газа: объемный/массовый расходомер

• Термопара: тип K/тип N/тип C/тип S

Технические характеристики печи CVD
Модель	Размер рабочей зоны (Ш × В × Д) мм	Макс. Температура (°С)	Температура Однородность (°C)	Предельный вакуум (Па)	Скорость увеличения давления (Па/ч)
ЛФХ-6900-С	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
ЛФХ-10015-С	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
ЛФХ-1220-С	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФХ-1530-С	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФХ-2535-С	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
ЛФВ-D3050-C	Ï300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	Ï600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	Ï800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
ЛФВ-Д11-С	Ï1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
ЛФВ-Д26-С	Ï2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Вышеуказанные параметры могут быть скорректированы в соответствии с требованиями процесса, они не являются стандартом приемки, а детальной спецификацией. будет указано в техническом предложении и договорах.