Поднос для тигля

В производстве высокотемпературных полупроводников стабильность и точность имеют решающее значение для обеспечения стабильного качества кристаллов. Опорный лоток для тигля Semicorex играет жизненно важную, но часто упускаемую из виду роль в поддержании целостности процесса роста кристаллов, обеспечивая надежную основу в экстремальных термических и механических условиях.

Поднос для тигля, также известный какуглерод/углерод (C/C)держатель тигля специально разработан для поддержки кварцевых или графитовых тиглей во время выращивания монокристаллического кремния. Расположенный в основании теплового поля, этот компонент должен выдерживать длительное воздействие высоких температур, сохраняя при этом структурную целостность и стабильность размеров. Его прочная конструкция гарантирует, что тигель остается надежно расположенным на протяжении всего процесса, сводя к минимуму вибрацию, деформацию или смещение, которые могут отрицательно повлиять на качество кристаллов.

Роль лотка поддержки C/C

При выращивании монокристаллического кремния температура часто превышает 1400°С. Традиционные графитовые материалы, хотя и полезны, часто сталкиваются с проблемами, касающимися срока службы и деформации под тяжелым весом расплавленного кремния. Наш опорный лоток для тигля из композитного C/C решает эти проблемы.

Благодаря использованию высокопрочной матрицы, армированной углеродным волокном, этот лоток обеспечивает практически нулевой профиль теплового расширения и исключительную несущую способность. Он служит связующим звеном между тиглем и вращающимся валом, поддерживая идеально ровную плоскость и предотвращая турбулентность расплава и дефекты кристаллов.

Технические характеристики и качество материалов

Плотность: ≥ 1,3 г/см³

Прочность на изгиб: ≥ 110 МПа

Коэффициент теплового расширения (КТР): ≤ 1,0 × 10⁻⁶/К

Прочность на сжатие:  ≥ 160 МПа