Углеродная изоляция ощущается

В полукорекс-изоляционной изоляции является высокопроизводительный теплоизоляционный материал, специально разработанный для использования в процессе роста кристаллов полупроводниковой промышленности. Произведенный из высокомерных углеродных или графитовых волокон, этот фетрик из углерода оптимизирован для удовлетворения строгих требований к тепловой управлении и чистоте высокотемпературных сред, используемых при росте монокристаллов, таких как кремниевые (Si), карбид кремния (SIC) и другие составные полупроводники.

Процесс роста монокристаллического кремния полностью проводится в тепловом поле. Хорошее тепловое поле способствует улучшению качества кристалла и обладает более высокой эффективностью кристаллизации. Конструкция теплового поля в значительной степени определяет изменения градиентов температуры в динамическом тепловом поле и поток газа в камеру печи. Разница в материалах, используемых в тепловом поле, непосредственно определяет срок службы теплового поля.

В монокристаллической кремниевой печи CZ,составные материалы из углеродного волокнаиногда используются. В настоящее время они начали использоваться для изготовления болтов, гайков, крестиков, нагрузочных пластин и других компонентов. Изоляция углерода-это комплексные материалы на основе углерода на основе углерода с высокой удельной прочностью, высокой удельной модулем, низким коэффициентом термического расширения, хорошей проводимостью, высокой вязкостью разрушения, низкой удельной тяжкой, устойчивостью к термическому шоку, устойчивости к коррозии, высокой температурной устойчивостью и другими превосходными свойствами. В настоящее время, как новый тип высокотемпературного структурного материала, он широко используется в аэрокосмической, гонок, биоматериалах и других областях.

Полиакрилонитриловая изоляция изоляции имеет большое содержание золы. После высокотемпературного лечения одно волокно становится хрупким. Во время работы легко генерировать пыль для загрязнения окружающей среды печи. В то же время волокно может легко войти в поры и дыхательные пути человеческого тела, что вредно для здоровья человека. Углеродный войлок на основе вискозы обладает хорошей теплоизоляцией. Это относительно мягкое после термообработки и не легко генерировать пыль. Тем не менее, поперечное сечение сырого волокна на основе вискозы является нерегулярным, и на поверхности волокна есть много канавок. В присутствии окисляющей атмосферы в кремниевой печи CZ легко генерировать газы, такие как C02, вызывая осаждение кислорода и углеродных элементов в материале монокристаллического кремния. В настоящее время наиболее широко используемым в полупроводниковой индустрии монокристаллической промышленности является углеродное войлование на основе асфальта, которое обладает худшей теплоизоляцией, чем фетровый цвет углерода на основе вискозы, но углерод на основе асфальта имеет более высокую чистоту и более низкую излучение пыли.

Качество роста монокристаллического кремния напрямую зависит от тепловой среды, а теплоизоляционные материалы из углеродного волокна играют ключевую роль в этой среде.Углеродное теплоизоляция мягкийВсе еще имеет значительное преимущество в фотоэлектрической полупроводниковой промышленности из -за ее преимущества затрат, превосходного эффекта теплоизоляции, гибкой конструкции и настраиваемой формы. Кроме того, жесткая изоляционная изоляция углеродного волокна будет иметь больше возможностей для развития на рынке тепловых полевых материалов из -за его определенной прочности и более высокой работы.