Алюминиевые патроны с кольцевыми канавками

Корундовые патроны Semicorex с кольцевыми канавками имеют структуру поверхности, состоящую из нескольких концентрических кольцевых канавок. При соединении с вакуумным насосом эти канавки образуют кольцеобразные зоны отрицательного давления, обеспечивающие стабильное удержание тонких пластин и заготовок с точным позиционированием. Патроны Semicorex из оксида алюминия с кольцевыми канавками хорошо работают в рабочих условиях, требующих строгого контроля плоскостности и равномерного распределения адсорбционной силы, которые широко применяются при удержании пластин, позиционировании экспонирования, плазменном травлении, а также в процессах контроля и транспортировки пластин.

Преимущества патронов Semicorex из оксида алюминия с кольцевыми канавками

1. Исключительная устойчивость к высоким температурам.

Керамика из глинозема, изготовленная методом уплотняющего спекания, демонстрирует замечательные тепловые характеристики. Благодаря этому свойству материала патроны Semicorex из оксида алюминия с кольцевыми канавками стабильно работают в условиях экстремально высоких температур без деформации конструкции и снижения производительности при длительном использовании.

2. Равномерная сила адсорбции

Semicorex с кольцевыми канавкамиглиноземные патроныимеют на адсорбционной поверхности множество кольцевых канавок, в которых образуются устойчивые кольцеобразные вакуумные зоны. Такая конфигурация обеспечивает постоянную силу адсорбции на основных поверхностях контакта пластины, что, таким образом, значительно снижает частичную деформацию и коробление пластины.

3. Превосходная структурная стабильность и высокая точность повторного позиционирования.

Обладая превосходной жесткостью материала и структурной стабильностью, патроны Semicorex из оксида алюминия с кольцевыми канавками способны сохранять превосходную плоскостность и постоянную точность позиционирования во время повторяющихся операций вакуумного зажима в течение длительного времени.

4. Сильная стойкость к химической коррозии.

Из-заглиноземОбладая надежной химической стабильностью, патроны Semicorex из оксида алюминия с кольцевыми канавками обладают исключительной устойчивостью к большинству кислотных и щелочных веществ, а также к различным агрессивным технологическим газам и хорошо адаптированы к сложным коррозионным условиям эксплуатации.

5. Отличная чистота.

Благодаря строгому контролю чистоты материала и обработке по уплотнению патроны Semicorex из оксида алюминия с кольцевыми канавками редко выделяют частицы или примеси в процессе эксплуатации, что полностью соответствует строгим стандартам низкого уровня загрязнения в чистых помещениях для производства полупроводников.

Почему стоит выбрать Семикорекс?

Semicorex, ведущая в отрасли компания в Китае, имеет интегрированные производственные линии и опытную техническую команду. Мы можем предложить нашим клиентам индивидуальную техническую поддержку и оптимизированные технологические решения, а также предоставить им нестандартное изготовление наших патронов из глинозема с кольцевыми канавками по чистоте материала, форме патронов, размерам, плоскостности, допускам и другим требованиям.