Полировальные пластины из оксида алюминия

Пластина Semicorex из оксида алюминия полировальные пластиныпредставляют собой прецизионные детали, изготовленные из глинозема высокой чистоты методами изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной механической обработки. Они идеально подходят для прецизионной полировки с жесткими требованиями к сверхвысокой точности и эффективности поверхности, особенно для полировки полупроводниковых пластин, поскольку глиноземная керамика обладает исключительными физическими и химическими свойствами.

---

Длительный срок службы и отличная износостойкость

Высокая износостойкость необходима для полировальных пластин, используемых при высокоточной механической обработке. Твердость глиноземной керамики по шкале Мооса составляет около 9, уступая только алмазу и карбиду кремния, что позволяет пластинам для полировки пластин выдерживать высокоскоростные и тяжелые условия трения во время полировки полупроводниковых пластин с низкими потерями на износ. Благодаря превосходной износостойкости полировальные пластины из оксида алюминия имеют длительный срок службы, что значительно снижает частоту остановов оборудования для замены и сокращает расходы на техническое обслуживание и замену.

Исключительная термическая стабильность и устойчивость к высоким температурам.

глиноземПолировальные пластины для пластин могут сохранять свои физические свойства и характеристики трения в условиях высокой температуры 1000 ℃ благодаря своей исключительной термической стабильности и устойчивости к высоким температурам. Они подходят для условий работы при высоких температурах, вызванных частым трением, эффективно предотвращая тепловую деформацию и способствуя поддержанию постоянной полируемой поверхности.

Надежная стойкость к химической коррозии

Полировальные пластины из оксида алюминия обладают надежной стойкостью к химической коррозии. Они могут противостоять большинству кислот и щелочей, а также обычным химическим полирующим растворам, используемым в процессе CMP. Плоскостность их поверхности не будет нарушена химической коррозией, что повлияет на качество поверхности полупроводниковых пластин.

---

Применение пластин для полировки пластин Semicorex глинозем

1.Полировка полупроводниковых пластин

Полировальные пластины из оксида алюминия широко используются для шлифования, грубой и финишной полировки кремния, карбида кремния, сапфира и различных подложек пластин. Благодаря сверхнизкой шероховатости и наноразмерной плоскостности поверхности пластины для полировки пластин из оксида алюминия могут идеально соответствовать строгим требованиям к качеству поверхности в таких современных полупроводниковых процессах, как травление и литография.

2. Утончение пластин и полировка кромок.

В процессе утонения пластин можно использовать пластины для полировки пластин из оксида алюминия, чтобы точно контролировать толщину пластины и равномерно удалять материалы с обратной стороны. В процессе полировки кромок полировальные пластины из оксида алюминия также могут помочь достичь оптимального качества кромок пластин, устраняя заусенцы и дефекты на краях пластин.