Алюминец Робот Рука

Robot Arm Semicorex Arm-это высокопроизводительная керамическая часть, предназначенная для задач обработки и передачи пластин в полупроводнике. Эта роботизированная рука, изготовленная из глиноземной керамики (Al₂O₃).

То, что выделяется в пользу робота -глинозема, - это свойстваглиноземной керамикамеханическая прочность и твердость. КакглиноземСделано более чистым, глинозем поддерживает лучшую структурную целостность и делает его более устойчивым к механическому износу и деформации. В качестве материала глинозем является отличным выбором для роботизированных частей, которые используются в деликатных и повторяющихся задачах обработки пластин, то есть, когда робот-рычаги необходимо выполнять ту же функцию и установить контакт с вафель, что незначительные искажения, применяемые к пластине с помощью рукава робота, может стоить потери урожая объекта. Высокая твердость, то есть жесткие поверхности, может помочь с абразивным сопротивлением и функциональным сроком службы, то есть продление срока службы и продолжительности обслуживания/ замены на роботизированном компоненте.

Помимо его механической долговечности, рука робота оксида глинозема также является отличным электрическим изолятором. Удельное сопротивление составляет до 10⁵ ω · см, а прочность изоляции составляет до 15 кВ/мм при комнатной температуре, обеспечивая гораздо более безопасную среду для работы, особенно когда в интерфейсе электрических сигналов должно быть уменьшено в обработчивом оборудовании. Это становится важным при защите чувствительных полупроводниковых компонентов, передавающихся между процессами с минимальным риском повреждения электростатического разряда (ESD).

Керамика оксида глинозема отлично поддержает стабильность при очень высоких температурах. Точка плавления составляет около 2050 ° C и выдержит высокие температуры при полупроводниковой тепловой обработке без деформации или точности размерных. Высокая теплостойкость позволяет использовать руку в таких процессах, как быстрое тепловое отжиг (RTA) или химическое осаждение паров (CVD), где выравнивание точности и тепловая стабильность имеют решающее значение.

Одним из других важных преимуществ робота -глинозема является его инертность. Его поверхность инертна для большинства чистящих средств и обрабатывает газы, используемые в производстве полупроводников. Следовательно, он останется без загрязнения и не будет способствовать загрязнению поверхности пластины. Эта химическая инертность является ключом к достижению ультрачистых условий производства и обеспечении постоянной производительности устройства.

Глиноземной керамикатакже является доступным вариантом для полупроводникового инструмента. Он легко доступен в качестве сырья, а процессы обработки глиноземной керамики хорошо изучены и легко масштабируемы. Это позволяет воспроизводимым и последовательным допускам в отношении высококачественных деталей, которые будут производиться по конкурентной цене. Сочетание производительности и доступности делает руку с глиноземным роботом идеальным для OEM и полупроводниковых тканей, где вам требуются надежные компоненты автоматизации, которые не ломают банк.

Таким образом, глиночный робот -рычаг обеспечивает высокую механическую производительность, высокие диэлектрические характеристики, высокую теплостойкость, высокие химические характеристики, все с доказанной производительности по экономической цене. В совокупности эти характеристики производительности делают его надежным и эффективным для применения в обработке точных пластин в производстве полупроводников, что обеспечивает повышение урожайности, потенциально снижает риск загрязнения и повышая эффективность общей эффективности оборудования.