Оборотные базовые пластины

Получики с алюмилой, монтажными базовыми пластинами, представляют собой керамические продукты с высокой точностью, разработанные как прочные и стабильные основания для монтажных рабочих патронов в оборудовании для полупроводникового изготовления. Эти пластины обеспечивают критическую механическую поддержку и выравнивание для операций по обработке пластин, таких как литография, травление, осаждение и проверка. Важно точно выравнивать рабочую патрон с другими компонентами системы, чтобы гарантировать, что обработка пластины может происходить с необходимой верностью. Пластины изготавливаются с помощью методов обработки, специфичных для керамики для достижения необходимой плоскостности, высокотемпературной долговечности и долгосрочной надежности для удовлетворения суровых требований современного полупроводникового изготовления как в условиях процесса, так и в среде чистых комнат.

Получиковые базовые пластины с высокой точкой с высокой прочткой изготовлены из высокой чистотыглиноземИмея уровень чистоты ≧ 99,5% (типичный). Армиение с высокой точностью обладает хорошими механическими и термическими свойствами, а также твердостью. Армиение с высокой точностью обладает превосходными присущими электрическими изоляционными свойствами, которые также позволяют использовать эти пластины в вакууме и применениях высокого напряжения, где электрические помехи могут быть проблемой. Алюминец будет устойчив к термоциклированию, что позволяет пластинам поддерживать более высокую точность размеров, чем большинство материалов, и полезно для поддержания выравнивания или структурной стабильности из -за снижения теплового расширения. Этот фактор важен для обеспечения повторяемости Чака и неявных допусков процесса при работе с расширенными циклами производства.

В системах обработки полупроводниковых обработок монтажная пластина - это не просто устройство для механического крепления. Это среда теплового контакта между патроном и остальной частью оборудования и имеет решающее значение для теплового рассеяния, структурной целостности и изоляции вибрации. Обработчивые действия, такие как (но не ограничиваясь) CVD, PVD или ионной имплантацией, где высокие температуры и вакуумное давление являются обычным явлением, требуют, чтобы монтажное основание было термически устойчивым, химически инертным и устойчивым, механически обоснованным и устойчивым к термическому шоку. Химическая инертность жизненно важна, потому что крепление должно быть совместимы с реактивными газами, а также химии для очистки, продление срока полезного срока горы и предотвращение загрязнения.

Каждый монтажный алюминец, проведенный Semicorex, обрабатывается до допусков, требуемых производителями полупроводника, и интеграторов оборудования. Пластины обрабатываются на плотные допуски на толщину, изменение высоты и плоскостность, чтобы обеспечить максимальную стабильность и повторяемость. Эти монтажные пластины можно сделать с монтажными отверстиями, слотами или контртетерспильчами к спецификациям клиентов, чтобы лучше приспособить рабочие патроны, механические этапы или другое оборудование. Керамика глинозема обрабатывается с использованием современных методов спекания и точного шлифования для оптимизации равномерной микроструктуры и качества поверхности, чтобы обеспечить последовательный тепловой контакт и выравнивание для использования с течением времени.

Полукикс -монтажные базовые пластины используются в различных приложениях, включая обработчики пластин, системы переноса робота, сборки вакуумных патронов и этапы метрологии. Эта достоверность и долговечность в различных требовательных процессовых ситуациях делают их продуктом, выбранным с производителями инструментов, ищущих надежные, длительные керамические компоненты с низким содержанием технического обслуживания. Наша инженерная группа сотрудничает с клиентами для предоставления уникальных решений, которые указаны для каждой пластины, чтобы максимизировать эффективность производства в полупроводнике.

Оборотные базовые пластины с алюминия - это больше, чем просто механическая поддержка; Это ключевой компонент в точной инженерии в полупроводниковой промышленности. Благодаря отличной механической стабильности, чистоте и конфигурации, они обеспечивают точное выравнивание, длительный срок службы и надежную работу в широком диапазоне инструментов процесса. Для высокопроизводительных базовых пластин, отвечающих высоким ожиданиям современных производителей полупроводников, Trust Semicorex.