Конечный эффектор оксида алюминия

Выбор материала для концевого эффектора Semicorex Alumina обусловлен уникальной способностью высокочистой глиноземной керамики работать в суровых условиях, встречающихся при производстве полупроводников: 

Исключительная чистота для контроля загрязнений: Конечный эффектор из оксида алюминия, в котором в качестве подложки используется керамика из оксида алюминия высокой чистоты, характеризуется чрезвычайно низким уровнем примесей, что гарантирует отсутствие примесей, которые могут поставить под угрозу электрические свойства или производительность чувствительных полупроводниковых устройств.

Высокотемпературная стабильность для универсальности процесса:Конечный эффектор из оксида алюминия демонстрирует превосходную термическую стабильность, сохраняя свою структурную целостность и точность размеров даже при повышенных температурах, возникающих в таких процессах, как термическое окисление, диффузия и химическое осаждение из паровой фазы.

Химическая инертность для агрессивных сред:Присущая концевому эффектору оксида алюминия химическая стойкость делает его невосприимчивым к широкому спектру кислот, оснований и растворителей, обычно используемых при обработке полупроводников. Эта инертность предотвращает коррозию или разрушение концевого эффектора, обеспечивая его долгосрочную работу и сводя к минимуму риск загрязнения твердыми частицами.

Прочные механические свойства для увеличения срока службы:Керамика из глинозема известна своей твердостью, износостойкостью и способностью выдерживать многократные циклы обработки и очистки без разрушения. Эта надежность приводит к увеличению срока службы концевого эффектора из оксида алюминия, что снижает затраты на замену и время простоя.

Точность, чистота и долговечность концевого эффектора из оксида алюминия сделали его важным компонентом в ряде важнейших процессов производства полупроводников:

Фотолитография:Точное выравнивание и размещение пластин имеют первостепенное значение в фотолитографии, где даже небольшие отклонения могут привести к ошибкам выравнивания и выходу устройства из строя. Конечный эффектор Alumina обеспечивает необходимую точность и стабильность на этом важном этапе процесса.

Химико-механическая планаризация (ХМП):Способность противостоять химически агрессивным суспензиям и механическим силам, возникающим при ХМП, делает концевой эффектор из оксида алюминия идеальным для работы с пластинами во время этого критического процесса, который выравнивает поверхность пластины для последующего наслаивания.

Проверка пластин и метрология:Незагрязняющий и не повреждающий характер концевого эффектора из оксида алюминия делает его идеальным для работы с пластинами во время процессов контроля и метрологии, обеспечивая точные измерения и сводя к минимуму риск появления дефектов.