Керамический манипулятор из глинозема

Керамический манипулятор из глинозематакже называется керамической вилкой из оксида алюминия и концевым эффектором для обработки пластин. Он установлен на роботе-манипуляторе и эквивалентен руке робота. Он используется для переноски, транспортировки и позиционирования полупроводниковых пластин.Кремниевые пластинычрезвычайно чувствительны к загрязнению другими частицами, поэтому для обеспечения чистоты с ними обычно обращаются в вакууме. Керамические манипуляторы из оксида алюминия используют всасывание под отрицательным давлением для удаления пластин и транспортировки полупроводниковых пластин посредством телескопических, вращательных и подъемных движений руки. Внутри керамического манипулятора из глинозема имеются отверстия для воздуха и вентиляционные канавки, которые могут образовывать вакуум при нагнетании воздуха, так что полупроводниковые пластины могут быть адсорбированы при легком контакте, не защемляя и не повреждая полупроводниковые пластины.

Известно, что чем чище составглиноземная керамикаесть, тем выше будет его сила. Алюмокерамические манипуляторы Semicorex изготовлены из глиноземной керамики высокой чистоты. Это приводит к исключительной механической прочности и твердости. Их износостойкость намного превосходит износостойкость стали и хромистой стали, что позволяет им сохранять точность поверхности в течение длительного времени в средах с высоким трением, снижая риск появления царапин на пластинах и делая их идеальными для высокоточной обработки. Этот манипулятор из глиноземной керамики имеет высокое удельное сопротивление. Его выдающиеся электроизоляционные свойства позволяют эффективно предотвращать электростатические помехи и снижать риск адсорбции частиц, обеспечивая чистоту поверхности пластины. Кроме того, процесс производства полупроводников включает в себя сложные схемы и среду высокого напряжения внутри оборудования. Высокоомный манипулятор из оксида алюминия эффективно блокирует проводимость тока, обеспечивая электрическую безопасность при работе с полупроводниковыми пластинами. Благодаря высокой термостойкости и термической стабильности глиноземной керамики манипулятор очень мало деформируется в процессе термообработки полупроводников, может точно позиционировать пластины и избегать отклонений точности, вызванных термической деформацией. Кроме того, этот материал обладает превосходной химической стабильностью и высокой устойчивостью к коррозии под действием кислот, щелочей, расплавленных металлов и т. д. Он не легко вступает в реакцию с другими веществами с выделением загрязняющих частиц и может эффективно защищать полупроводниковые детали от химического загрязнения.