Глиноземной керамический конечный эффектор

Полукикс глиноземной керамический конечный эффектор является важным инструментом в автоматизированных системах передачи пластины, предлагая непревзойденную механическую прочность, тепловую стабильность и химическую стойкость. Производится с использованием высокой чистотыАроминальная (al₂o₃) керамикаЭтот конечный эффектор спроектирован для удовлетворения строгих требований среды обработки пластин, где точность, чистота и долговечность имеют первостепенное значение.

Полупроводниковые роботы - одна из важных частей полупроводникового оборудования. Они обычно состоят из контроллеров, водителей, оружия и конечных эффекторов. Они характеризуются высокой чистотой, высокой стабильностью, высокой точностью, высокой эффективностью и высокой надежностью. Полупроводниковые роботы в основном используются в переднем процессе полупроводникового производства для переноса, транспортировки и позиционирования полупроводниковых пластин.

Керамическая структура с содержанием глинозема, обычно более 99,5%, обеспечит превосходную твердость и износ для повторных движений в средах высокой конкретной резии без разложения с течением времени. Высокая теплопроводность и низкое тепловое расширение глинозема обеспечивают стабильность размеров в средах с повышенной температурой, необходимость в большинстве операций в чистых залах в полупроводниках, таких как в Antcher, Despectiter, Inspection или инструмент для очистки.

Аглиноземной керамикаКонечный эффектор имеет известную характерную поверхность, которая является гладкой и имеет низкую пористость, что делает его почти сгенерированными частицами и минимизацией или нулевым влиянием на загрязняющие вещества во время обработки пластин. Кроме того, глинозцы химически инертны. Это означает, что он не будет реагировать ни на какую из процесса газов и любых процессов, с которыми находится пластина. Это защищает пластину и любое загрязнение для себя и оборудования от всего, что может вызвать коррозию.

Они обычно используются в качестве конечных эффекторов, или механизм зажима для роботизированных рук или модулей переноса в оборудовании и оборудовании для изготовления пластин, таких как инструмент для полутчиков или инструмент для закладки, осмотр или инструмент для очистки с точными слотами, канавками или вакуумными каналами, захватывающими фактический размер пластины, будь то 100 мм, 200 мм или 300 мм и передача вафлеров и захвата для переполнения. Конечные эффекторы обычно обрабатывают скорость передачи пластин в 25 см/секунду.

Параметры настройки существуют в соответствии с конкретными для конкретных интерфейсов оборудования или размеров пластин. Структурная жесткость глинозема обеспечивает тонкие и легкие профили, которые минимизируют общую массу системы обработки и приводят к более быстрому откликому времени. Некоторые конфигурации также могут добавлять антистатические или изолирующие компоненты, чтобы обеспечить дополнительную защиту чувствительных электронных подложке.

В целом, эффектор керамики глинозема обеспечивает эффективное решение, которое способствует улучшению урожайности и снижению загрязнения, где операционная надежность является ключевым элементом для линии обработки пластин. Благодаря своей долговечности и характеристикам физической производительности, эффективный эффектор эффективности и экономически эффективной глиноземной керамической конечной эффектор отличается как популярный выбор среди производителей полупроводникового оборудования и FAB, которые требуют строгих производственных стандартов в ультрачистой среде.