Al2O3 Вакуумный патрон

Применение в производстве полупроводников

Вакуумный патрон Semicorex Al2O3 — универсальный инструмент, используемый на нескольких этапах производства полупроводников:

Утончение: В процессе утонения пластин вакуумный патрон Al2O3 обеспечивает стабильную и равномерную поддержку, обеспечивая высокоточное обжатие подложки. Это имеет решающее значение для улучшения отвода тепла от чипа и повышения производительности устройства.

Нарезка кубиками: на этапе нарезки пластин на отдельные чипсы вакуумный патрон Al2O3 обеспечивает надежную и стабильную адсорбцию, сводя к минимуму риск повреждения и обеспечивая чистый рез.

Очистка: Гладкая и однородная адсорбционная поверхность вакуумного патрона Al2O3 делает его пригодным для процессов очистки пластин, гарантируя эффективное удаление загрязнений без повреждения пластин.

Транспортировка: Во время обработки и транспортировки пластин вакуумный зажим Al2O3 обеспечивает надежную и надежную поддержку, снижая риск повреждения и загрязнения.

СемикорексВакуумЧак Флоу

Преимущества вакуумного патрона Semicorex Al2O3

1. Технология однородной микропористой керамики.

Вакуумный патрон Al2O3 изготовлен с использованием технологии микропористой керамики, которая предполагает использование нанопорошков одинакового размера. Эта технология гарантирует, что поры равномерно распределены и связаны между собой, что приводит к высокой пористости и равномерно плотной структуре. Такая однородность повышает производительность вакуумного патрона, обеспечивая последовательную и надежную поддержку пластин.

2. Исключительные свойства материала.

Сверхчистый 99,99% оксид алюминия (Al2O3), используемый в вакуумном патроне Al2O3, обладает рядом исключительных свойств:

Термические свойства: Благодаря высокой термостойкости и превосходной теплопроводности вакуумный патрон Al2O3 может выдерживать высокие температуры, обычно встречающиеся в производстве полупроводников.

Механические свойства: Высокая прочность и твердость оксида алюминия гарантируют, что вакуумный патрон Al2O3 долговечен и устойчив к износу, обеспечивая длительную работу.

Другие свойства: оксид алюминия также обеспечивает высокую электрическую изоляцию и устойчивость к коррозии, что делает вакуумный патрон Al2O3 подходящим для широкого спектра производственных условий.

3. Превосходная плоскостность и параллельность.

Одним из ключевых преимуществ вакуумного патрона Al2O3 является его высокая плоскостность и параллельность. Эти свойства имеют решающее значение для обеспечения точной и стабильной обработки пластин, минимизации риска повреждения и обеспечения стабильных результатов обработки. Кроме того, хорошая воздухопроницаемость и равномерная сила адсорбции вакуумного патрона Al2O3 обеспечивают плавную и надежную работу.

4. Параметры настройки

В Semicorex мы понимаем, что каждый процесс производства полупроводников имеет уникальные требования. Вот почему мы предлагаем вакуумные патроны, изготовленные по индивидуальному заказу, отвечающие вашим конкретным потребностям. В зависимости от требуемой плоскостности и производственных затрат мы рекомендуем различные базовые материалы, гарантируя, что вес и производительность вакуумного патрона будут оптимизированы для вашего применения. Эти материалы включают нержавеющую сталь SUS430, алюминиевый сплав 6061, плотную глиноземную керамику (цвета слоновой кости), гранит и плотную керамику из карбида кремния.

Измерение вакуумного патрона Al2O3 на КИМ